中古 CANON FPA 2000 i1 #9313447 を販売中

CANON FPA 2000 i1は、半導体業界で使用されるファインパターニングや集積回路の製造に使用されるウェハステッパーです。最大露光面積20mmx10mmの4ビームプロジェクションステッパーです。キヤノンFPA2000-I1には、ArF （193nm）とKrF （248nm）のエキシマレーザーとUVレーザーを使用した多波長イルミネーション装置が内蔵されています。これにより、ウェハステッパーは露光時間を最適化し、ファインイメージング用に1ミクロン未満の高解像度を実現します。また、露出ヘッドは最大速度10mm/秒、精度0。1mmの6軸ステージを備えており、最適なパターニングのためにウェーハの正確なアライメントと位置決めを保証します。FPA-2000I1は、計測や検査ツールなどの他のシステムに簡単に統合することを可能にするモジュラー1フレームの光学システムで設計されています。また、高解像度、高ダイナミックレンジ、非常に低い歪みを提供します。このユニットは、最大NA 0。4と調整可能なZフォーカスを備えた可変数値開口（NA）対物レンズとデジタルアライメントモジュールを使用しています。この機能を組み合わせることで、露出補正が可能になり、高精度な画像処理が可能になります。CANON FPA-2000 I 1には、ウェーハレベルでパターンを評価するために使用できるモーター式の顕微鏡が内蔵されています。ステッパーには、レーザー放射線から人員を保護するように設計された強化安全装置を装備することもできます。FPA-2000 I 1には、ドラッグアンドドロップインターフェイスを使用してプログラムすることができる手動およびレシピベースの操作のための操作が簡単でサポートされています。このツールは、リアルタイムのデータ監視、記録、分析も提供します。全体的FPA2000-I1は、汎用性の高い機能とコンパクトなデザインを備えたパワフルで正確なウェーハステッパーです。優れたプロセス制御を実現し、高精度な集積回路の微細なパターニングと生産を可能にします。