中古 CANON FPA 2000 i1 #9313277 を販売中

CANON FPA 2000 i1は、半導体デバイスの製造に使用される高精度のウェーハステッパーです。この装置は、半導体デバイスの生産プロセスの効率と精度を向上させるために、単一および複数のウェーハを整列および配置するように設計されています。CANON FPA2000-I1は、高感度かつ高精度なXYスキャンステージを搭載し、ウェーハパターンとパターンの正確なアライメントを実現しています。ステージは高解像度のダイレクトドライブモータによって駆動され、WAAM（ウェーハアライメントおよびマスキング）プロセス中に正確かつ正確なスキャンが可能です。また、検査カメラユニットを搭載し、独自のソフトウェアを使用して複雑なウエハパターンを検査し、欠陥やバリエーションを検査します。FPA-2000I1のフィールドエリアは、さまざまなプロセッサを単一のウエハ上にパターン化するのに十分です。高解像度イメージセンサーとリアルタイム処理機を搭載し、非常に高解像度のシングルパターニングを実現しています。また、幅広いウエハ基板サイズや形状に対応したハロゲンハイイルミネーションランプを採用し、生産効率を向上させています。FPA 2000 I 1には高速ベクトルステッパーアルゴリズムも搭載されており、高速リソグラフィ露光が可能です。XYステージの下部には、露光プロセス全体にわたって基板を安全かつ安定した処理を可能にする複数の吸引カップを備えた長い真空スロットがあります。この高精度ツールは、CANON EDS-2 （Exposure Data Storage Asset）とCANON PST-3 （Process Sparing Tool）によって管理されており、正確なウェハエッジ検出、ウェハモーションの過剰な減衰、およびウェハレベルの欠陥検査を提供します。また、CANON FPA 2000 I 1は温度安定した環境を有しており、異なる環境設定で安定した動作を実現しています。要するに、FPA-2000 I 1は、特殊な半導体デバイスや回路の製造をサポートするように設計された高精度のウェーハステッパーです。高速かつ正確なウェーハアライメントと加工に最適な装置です。精密なXYスキャンステージと長い真空スロットを備え、キヤノン独自のソフトウェアプログラムを通じて管理されています。