中古 CANON FPA 2000 i1 #9298396 を販売中

CANON FPA 2000 i1は、フィールドアプリケーションが1：1、開口数が0。50、動作距離が2。6mmのウェハステッパーです。さまざまな半導体ウェーハを正確に加工できるように設計されています。汎用性が高く、150nmから6。5ミクロンまでの幅広い半導体分野アプリケーションを処理できます。CANON FPA2000-I1は、あらゆる半導体ウェーハを処理するための高精度・高分解能を提供します。このデバイスはデュアルモードであり、単一および複数のウェーハ処理を可能にします。シングルウェーハの30Hzプロセス・レートで設計されており、複数のウェーハを処理する場合には1時間あたり最大800ウェーハが使用されます。FPA-2000I1は、パターンとレチクル配置の精度を確保するために、レーザーアライメントを利用しています。FPA2000-I1は19 ± 4°Cの温度と45 ~ 65％の相対湿度を維持する大気制御システムを持っています。DC倍率1。0〜12。5 x、 XY解像度0。3nmを搭載しており、精度や精度が重要な用途に最適です。FPA-2000 I1には、EPI/イオンインプラント機能、エアーベアリングビームスキャン、400 x倍率で1％の低高調波歪み、迷光を制御する軸外照明、およびUV光ファイバ操作が搭載されています。ウェーハステッパーには4段階のアライメントが装備されており、ウェーハ加工時の精度が高くなります。さらに、このマシンはクリーンルーム環境での使用のために設計されており、化学的ウェットエッチングが可能です。オートウェッジメーカーを内蔵しており、ウェハの加工にかかる時間を短縮します。CANON FPA-2000 I 1には、警告通知用のLEDバー表示とユーザーフレンドリーなICプログラマがあります。結論として、FPA 2000 I 1は、幅広い半導体ウェハアプリケーションを処理するために設計された光学ウェハステッパーです。高い精度と解像度、デュアルモード動作、レーザーアライメント、EPI/イオンインプラント機能などを提供します。さらに、大気制御システム、4段階のアライメント、LEDバー表示、およびユーザーフレンドリーなICプログラマーにより、クリーンルーム環境に最適です。