中古 CANON FPA 2000 i1 #9251787 を販売中

CANON FPA 2000 i1は、微細加工用途に特化した先進的なウェーハステッパーです。この高精度で正確な機械は、印象的な結果をもたらすことができ、最も要求の厳しい工程に最適です。CANON FPA2000-I1は、1。5ミクロン±のアライメント精度で、薄膜をパターン化するための信頼性と再現性の高いプラットフォームを提供します。ウェーハスキャン技術を採用しており、高解像度光学系を介して4。7ミクロンの解像度でX軸とY軸（Y方向）に沿ってウェーハをスキャンすることができます。4。7ミクロンのスポットサイズのテレセントリック光学系を採用し、高い精度を確保しています。一方、このデバイスにはプログラム可能な露出時間と複数の露出オプションがあり、ユーザーはウェーハの特定の層への露出を調整することができます。先進的なFPA-2000I1は、上下両方のビジョンシステムを備えており、パターンをより高い精度と再現性で整列させることができます。さらに、ウェーハの厚さやオーバーレイのアライメントをより正確に測定することができます。このステッパーは、堅牢なs/N制御システムとともに、プロセスサイクル全体にわたって正確なアライメントを維持することができます。CANON FPA-2000 I 1は、自動ローディングシステムとアンローディングシステム、およびオンボードクラスタツールと統合スピンコーター開発者によって構築されています。これにより、より使いやすく、幅広い用途に適しています。その高度な機能にもかかわらず、FPA 2000 I 1は他の高度なウェーハステッパーとは異なり、操作が比較的簡単です。CANON FPA 2000 I 1はリソグラフィープロセスに最適で、様々なタスクを正確に実行することができます。パターニングナノスケール構造からパッケージングマイクロ電子デバイスまで、このデバイス統合設計により、ユーザーは最先端のプロセスを簡単に完了できます。これらの機能はすべて、生産および研究環境に最適です。それは生産性を高めるのに役立ち、ユーザーは毎回印象的な結果を生成することができます。