中古 CANON FPA 2000 i1 #9247809 を販売中

CANON FPA 2000 i1
ID: 9247809
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1999
i-Line stepper, 6" 1999 vintage.
CANON FPA 2000 i1は、高性能の集積回路部品を効率的に生産するために必要な高度な機能と技術を備えたウェハステッパーです。この装置により、サブミクロンレベルの機能サイズと+/-0。5ミクロンの正確なオーバーレイ電位を正確に達成できます。CANON FPA2000-I1は、2ミクロンの特徴を生み出すことができる2バウンス非対称クロスベクトルアライメントシステムを備えたステッパー機構を採用しています。このユニットは、最大限の柔軟性とパフォーマンスを備えているため、プロセスの必要性に応じてデバイスが自動的に設定を調整することができます。このマシンには、強力な画像処理ツールと高度な画像処理技術が含まれています。FPA-2000I1は、高解像度のモノクロカメラと熱蒸発器試験段を組み込んで、オーバーレイのアライメント性能を正確に決定します。また、高速干渉解析ツール(HISA)をはじめとする多種多様な追加部品も提供し、プロセス性能をさらに向上させています。また、ウェーハステッパーは低消費電力モードを備えており、動作中のエネルギー消費を低減し、サービスコールを最小限に抑える堅牢なプラットフォームを提供します。このアセットはメンテナンス機能を内蔵しており、不具合のあるコンポーネントを簡単に診断して修復することができます。超高精度を必要とするプロセスには、キヤノンFPA-2000I1には高度な画像強化モデルが搭載されています。この装置は、ナノメートルの分数で測定されたフィーチャーサイズを正確に達成することができます。ダイレクトライトテクノロジーを組み込むことで、通常は電子ビームリソグラフィに関連する解像度でパターンを正確に再現することができます。FPA2000-I1はCANON Flexible Architectureに基づいており、ユーザーは生産プロセスの特定のニーズに合わせてユニットを簡単にカスタマイズできます。高性能画像安定機などの対策を内蔵し、高い再現性を備えた高精度な部品を確実に製造し、光の露出を正確に調整することができます。FPA 2000 I 1は、複雑なパターニング要件を持つデバイスにおいて、優れたレベルの光学性能を必要とするユーザーにとって有用なツールです。このツールは、堅牢な性能を備えており、高性能の集積回路に必要な高度な機能を生成することができます。
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