中古 CANON FPA 2000 i1 #9134789 を販売中
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販売された
ID: 9134789
ウェーハサイズ: 6"
Stepper, 6"
Wafer type: semi flat
Wafer chuck type: LC ring chuck
Track interface: DNS
Auto-feeder (in-line direction): Left, Type 2
Altitude: X m
Signal tower: yes
CE mark (Europe): yes
Edge beam removal: no
Reticle changer:
Reticle size: 5", type 2 with 14 slots
Reticle bar code reader: yes
Library slot number: 14
Workstation:
Workstation model: HP1000
Software:
Main software version: V5.25B
Gem software version: SECS
Facility requirements:
Main electrical supply: 3 Phase, 415 VAC
Exhaust
1x Heat exhaust for chamber
2x Control rack
(Setting 0.5 inc to 2 inc H2O)
CDA Supply: 3X 100psi
Cooling water supply: cooling Water in (pressure=1to5 kg/cm2)
Vacuum: 3X vacuum setting ≤ 550 mm Hg
Drain: 1X drain for chamber aircodition system
Chamber:
Chamber type: TBW-CD-50W
Wafer feeding unit:
Type of wafer feeding unit: Type II
Wafer size: 6"
Carriers: double carriers
Flat/notch finder: flat
Method: non-edge contact, back side holding
XY stage: 6" sliding stage
Tilt stage: yes
Reticle changer system: Type II with 14 slots
Size: 5" Reticle
Reticle alignment system: TV image processing with FRA2 mark
Alignment source: g-line
HeCd laser: No
Auto wafer alignment system:
Auto alignment source: HeNe Laser (1 for X, 1 for Y)
Method: through the len off axis auto alignment
Mode: die and die and AGA
Projection lens:
Magnification: X 1/5
Numerical aperture: 0.55
Illumintor:
Light source: 1 KW Hg Lamp
Exposure time control: light integrator
Masking function: variable with 4 independent masking blades
Auto focus:
Method: optical auto focus
Other: auto compensation for barometric pressure change
Mechanical prealignment: non-edge contact
TV prealigment: TV image processing
Monitor display: LCD.
CANON FPA 2000 i1は、半導体ウェハの端に特定のパターンを生成するために使用されるフォトリソグラフィ機器の一種であるウェハステッパーです。幅広いサイズで高精度・高精度のウェーハパターンが可能です。CANON FPA2000-I1は、3〜5 µmの大型フィールドサイズを有し、効率的で高速な操作で自動パターンジェネレータのアライメントとウェーハアライメントを行うことができます。FPA-2000I1で使用されているフォトリソグラフィは、フレックストラック技術に基づいています。キヤノン独自の特徴で、柔軟性の剛性が変化し、アプリケーションごとに微調整することができます。これにより、高精度の露出制御と、最も要求の厳しい半導体パターンの高速で正確なアライメントとステッチを実現できます。CANON FPA 2000 I 1にはマルチエクスポージャー機能も搭載しており、パターンの均一性を向上させています。キヤノンFPA-2000I1には、照明、光学計測、エッジ検出、全自動クローズドループ露光プロセスなどの自動露光装置があります。手動で介入することなく継続的に動作するように設計されており、単一の露出で重要なパターン制御を実現できます。クリーンで高解像度なパターンを実現するために欠かせない、エアカーテンと洗練されたエアコントロールを備えています。FPA 2000 i1は、多目的なパターニング機能も提供します。このユニットは、高精度でバイナリ分解能パターンと高密度線を露出させることができ、円パターンまたは蛇行パターンを形成するために使用することもできます。また、1つのウェーハに複数のパターンを時間をかけて統合する機能も備えています。FPA-2000 I 1には、複数の組み込みの安全機能が含まれています。その電動ステージは、安定した環境を維持するために囲まれ、温度制御され、ロボット制御ステージは正確な露出を確保するために変位と向きを制御します。緊急停止ボタンを使用すると、不正アクセスの試みをブロックできます。要するに、CANON FPA-2000 I1は、優れた性能と信頼性を提供する高度な機能を備えた高精度ウェーハステッパーです。フレックストラック技術と複数露光機により、あらゆるウェーハパターニング用途に最適なツールとなり、内蔵の安全対策により安全な動作を保証します。
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