中古 CANON FPA 2000 i1 #9033674 を販売中

CANON FPA 2000 i1は、2005年に発売されたウェーハステッパーです。それは高い生産性およびイメージの均等性の機能があるステップアンドスキャンのリソグラフィの露出装置です。これは、高度な半導体フォトリソグラフィープロセスで使用されます。それは成功したFPA-2000プラットフォームに電気光学技術を適用し、2つの生産モデル、キヤノンFPA2000-I1とFPA-2000 i3をもたらしました。FPA-2000I1モデルには、対称アライメントマシン（SAS）の照明システム（Reduced Out-of-Field Astigmatism （ROA））とアライメントユニット（アライメントユニット）があり、FPA-2000 i3モデルには同期ダブルパターンジェネレータ（SDPG）が搭載されています。CANON FPA-2000 I1ウェハステッパーは、照明ツール、投影光学アセット、アライメントモデル、レチクル加工装置、ウェハステージシステムの5つの主要コンポーネントで構成されています。照明ユニットは、レーザー、光トラップ、屈折光学部品および/または反射光学部品の組み合わせで構成され、光を生成してレチクルに向けるために使用されます。非球面レンズなどを内蔵したプロジェクションオプティクスマシンを使用して、レチクルからウェーハに画像を投影します。アライメントツールは、レチクルのX、 Y、およびシータ位置を検出できる線形変位センサで構成されています。レチクルアセットは、レチクルチェンジャー、レチクルライブラリ、熱交換器で構成されています。スキャナとX-Yステージで構成されるウェーハステージモデルは、X、 Y、 Z方向にウェーハを移動させるために使用されます。FPA-2000 I 1はフィールドサイズが4インチ（100mm）、ショットサイズが最大4インチ（25。6mm）です。ショットツーショットオーバーレイ（<3µmショットツーショット）と30nmライン幅で高精度を実現します。ステッパーはまた、手動で介入することなく最大300万ショットのウエハランの再現可能な露出能力を備えています。全体として、CANON FPA-2000 I 1ウェハステッパーは、半導体加工のために設計された信頼性の高い高精度リソグラフィ露光装置です。効率的なスループット、高精度、再現性の高いプロセス信頼性を提供します。高度な半導体プロセスに最適なシステムです。