中古 CANON FPA 2000 i1 #293625673 を販売中
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CANON FPA 2000 i1 Wafer Stepperは、様々なリソグラフィ関連タスクに対応するように設計された、完全に自動化された高精度のリソグラフィーツールです。高度なマイクロステッピングとフォトアライメント技術により、これまでにないリソグラフィープロセス制御を提供します。マイクロステッピングの高解像度により、ウェーハの正確なパターニングが可能です。フォトアライメント技術は、露出された各層の正確で信頼性の高いアライメントを保証します。CANON FPA2000-I1には、ウエハハンドリングロボットが4インチ搭載されており、最大200mmのウエハーを積み降ろしできます。このロボットは、優れた再現性と精度を提供し、大量かつ高品質のリソグラフィ処理を可能にします。装置の高度な非接触フォーカシングシステムにより、ウェーハの正確なパターンが保証され、独自の自動露出ユニットにより、ウェーハの一貫した露出を優れた精度で提供します。このマシンには、高出力のArFレーザーソースと幅広いレンズとレーザー電源設定を備えた高速露出ツールも含まれています。これにより、幅広いパターニングサイズにわたるさまざまなアプリケーションのニーズを満たすことができます。さらに、ウェーハプレートは露光プロセスに優れた均一性と安定性を提供します。FPA-2000I1は、高度な機械、電子、光学技術を活用して、効果的で信頼性の高い性能を提供するように設計されています。コンパクトレイアウトにより設置が容易になり、最大450Hzの出力周波数は高いスループットと高い生産性を提供します。また、さまざまなメンテナンス機能と高度な診断機能を備えており、迅速かつ効率的なトラブルシューティングとメンテナンスを保証します。結論として、FPA-2000 I1は、優れたリソグラフィ性能を提供するように設計された高度で信頼性の高いウェーハステッパーです。その高度な技術は、優れたウェーハパターニング精度と一貫した露出を提供し、その高いスループットと設置の容易さは、効果的で信頼性の高い性能を保証します。
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