中古 CANON FPA 2000 i1 #293606920 を販売中

CANON FPA 2000 i1は、キヤノンが製造するウェーハステッパーです。ファウンドリや半導体ファブで使用される半導体デバイス製造用の高性能ステッパーです。キヤノンFPA2000-I1は、大型（2000mm）ステージと高精度なマルチエクスポージャパターニング機構を備えています。2軸モータ駆動のリニアステージを備え、各軸に5,000mmの広いスキャン範囲を提供します。さらに、高度なステッパー制御システムFPA-2000I1搭載し、複数のエクスポージャーを正確かつ正確に配置し、0。25 μ mのプロセスノードとその先の複雑なパターンを作成することができます。FPA 2000 i1は、80 wph以上の高スループットでのトリリニア同期パターニングが可能です。ステッパーには複数の表示モードが装備されており、ユーザーが素早く切り替えることができるため、エンジニアリングテストでプロセスを迅速に評価したり、特定の露出技術の影響をテストしたりするのに理想的です。また、FPA-2000 I1には4方向入出力信号システムが搭載されており、様々な外部機器やコントローラに接続することができます。CANON FPA 2000 I 1は、高解像度、高速パターニング、線量制御を備え、パターン歪みを最小限に抑えながら最適なパターニング性能を実現します。ステッパーには色度測定システムがあり、パターンと参照画像を比較して正確な色表現を保証します。また、モジュラー構造FPA2000-I1メンテナンス性を考慮して設計されており、部品の交換や修理が容易です。全体として、FPA-2000 I 1はパワフルで信頼性の高いウェーハステッパーで、高いスループットで高精度パターニング機能を提供します。複数の露出を正確に配置でき、外部デバイスやコントローラと簡単に接続できるため、半導体デバイスの製造に最適です。