中古 CANON FPA 2000 i1 #293591390 を販売中

CANON FPA 2000 i1は、高いスループットと優れた精度で正確なリトグラフィックイメージングを提供するように設計されたウェハステッパーです。これは、2つのレーザー、インターフェース付きの定期的なアライメント装置、および高度な照明/検出技術を備えています。洗練されたDefocus Monitor System （DMS）は、安定した露出を確保するのにも役立ちます。このデバイスは、デュアルソース光学ピックアップヘッド技術を搭載しており、高度な照明検出器の組み合わせにより、高解像度のイメージングを提供できます。DMSは、単一の層と複数の層の両方の露出抵抗のための均一な繰り返し露出線量とパターン配置を提供するのに役立ちます。光学ユニットにリアルタイムでフィードバックし、デフォーカスとステージ歪み補正を行います。キヤノンの高精度モーションコントロールマシンを使用して、5軸全動作を維持します。キヤノンFPA2000-I1は、多くの微細加工プロセスに必要な20ナノメートルの高分解能イメージングを提供しています。このツールは、露出精度を最大化するために組み合わせて使用される2つのレーザーで設計されています。また、洗練されたDefocus Monitor Asset （DMS）を備えており、現在のアプリケーションに適応し、各フィールドをスキャンし、ステージ収差によって引き起こされるパターン配置の偏差を自動的に補償することができます。このモデルにはインテリジェントイルミネータが内蔵されており、信頼性の高い再現性で最も困難なレジスト露光要件を処理できます。このソフトウェアの機能には、スキャンラインの最適化、マスクの最適化、フィールドインデックス、パターンセグメンテーションなどがあります。FPA-2000I1も自動化されており、自動校正、自己診断、フォールトハンドリングなどの包括的な動作モード、および高精度のフォーカシングおよび露出制御技術を実行するためのオンボードZ深度最適化を提供しています。全体として、CANON FPA 2000 I 1は、精度と信頼性に優れた精密リソグラフィーイメージングを提供できる高度なウェハステッパーです。2台のレーザー、インターフェース付きの定期的なアライメント装置、洗練されたDMSを備えたこのシステムは、20nmの高解像度イメージングとカスタマイズ可能な自動操作モードを提供することができます。内蔵の照明器具とさまざまな印象的な機能を備えたこのユニットは、微細加工プロセスを次のレベルに引き上げるための理想的な選択肢です。