中古 CANON FPA 2000 i1 #10608 を販売中

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ID: 10608
ウェーハサイズ: 6
ヴィンテージ: 1994
Stepper, 4"-8" Type: 4 AF Reticle, 5" 1994 vintage.
CANON FPA 2000 i1は、半導体業界の可能な限り高い精度と性能要件を満たすように設計された最先端のウェーハステッパーです。この装置は、最大200mmの半導体ウェーハサイズを備えており、一連の高度なイメージング技術とモーションコントロールを提供しています。CANON FPA2000-I1は、円形、複数形、超高アスペクト比など、さまざまな露出フォーマットをサポートしています。また、バイナリ反復、複雑なショット、超高アスペクト比、超微細線幅のギャングパターンなど、幅広い露出パターンをサポートしています。FPA-2000I1は、マルチイメージャとマルチゾーンステッパーの性能を提供する唯一のシステムです。マルチゾーンステッパー機能により、ウェーハ全体の露出フィールドを微調整し、精度とパフォーマンスを向上させます。このマシンは、高度なパターンモデラーと統合された計測ツールも備えています。パターンモデラーは、各露出の位置を正確に推定し、任意のウエハ歪みを補正します。計測アセットは、高精度レーザースキャンを使用して、各露出の正確な配置を保証します。CANON FPA-2000 I1は、高速かつ正確なアライメント、露出、ウェーハの動きを可能にする新世代のモーションコントローラを搭載しています。さらに、オートフォーカスとCCDイメージングとサブピクセル精度を組み合わせたハイブリッドアライメント装置を搭載しています。さらに、CANON FPA-2000 I 1は、新世代の画像合成アルゴリズムとユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスで設計されています。全体として、CANON FPA 2000 I 1は半導体業界の厳しい基準を満たすように設計された高性能ウェーハステッパーです。優れた性能、精度、信頼性を提供し、ウェーハの製造において信頼性の高い選択肢となります。
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