中古 CANON FPA 1550 MARK IV-W #9296952 を販売中

CANON FPA 1550 MARK IV-W
ID: 9296952
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
Wafer stepper, 6" 1995 vintage.
CANON FPA 1550 MARK IV-Wは、リソグラフィ、エッチング、ボンディングなどのウェーハ加工プロセスに使用されるように設計されたウェーハステッパーです。チップを非常に小さな単位で配置できる高精度ツールで、コンピュータチップや集積回路などの高密度デバイスの製造に最適です。CANON FPA 1550 MARK IVWには、高感度のオートビジョンアライメント装置(AVAS)が搭載されており、素早く部品の位置合わせと正確な配置が可能です。これにより、生産プロセスが非常に効率的で費用対効果が高いことが保証されます。FPA-1550 MARK IV-Wには、精密で高速な4軸モーションプラットフォームが搭載されており、最大2,500 mm/s (1,600 インチ/s)のチップとウェーハを最大精度で移動させることができます。また、振動、温度変動、気流などの環境変化を補うオプトエレクトロニクスシステムを搭載し、常に安定した動作を実現しています。これらの機能は、高性能で超微細なデバイスの製造に最適です。CANON FPA-1550 MARK IV-Wは、モーション機能に加えてリソグラフィーユニットを搭載し、ウエハ表面にドーナツ状の丸みのあるエッジのパターンを正確に定義することができます。これは、高密度で正確にパターン化された相互接続を持つデバイスを製造するために有益です。FPA 1550 MARK IV-Wの他の特徴としては、自動ウェハ認識、タイトな蓋の制御、低振動のためのアイドル構造、および高温接合プロセスのための一定の温度を維持する熱負荷ロックチャンバーなどがあります。FPA 1550 MARK IVWは、直径450mmまでの大面積ウェーハを含む多種多様なメディアに対応しています。また、高度なDataManマシンを搭載しており、リアルタイムのデータ取得と管理が可能で、生産ラインの最適化に非常に効果的です。また、生産プロセスの特定のニーズに合わせてカスタマイズすることができ、他のデバイスとシームレスに組み合わせて使用することができます。全体として、CANON FPA 1550 MARK IV-Wは強力で汎用性が高く信頼性の高いウェーハステッパーであり、高密度で超微細なデバイスの製造に最適です。高精度のモーション機能、リソグラフィーツール、オプトエレクトロニクス資産により、高い歩留まりを持つ複雑なデバイスを簡単に製造でき、コスト効率も確保できます。また、優れたモニタリング機能とデータ取得機能を提供し、生産プロセスの追跡を向上させます。
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