中古 CANON FPA 1550 MARK IV-W #9196317 を販売中

CANON FPA 1550 MARK IV-Wは、半導体製造プロセスで使用されるウェーハステッパーで、リソグラフィパターンをウェーハに正確に転送します。直径24cmまでの基板加工が可能で、2。5 μ mのアライメント精度を実現しています。XYステージ、タレット、Zリニアステージを含む完全電動アライメント装置を使用して、正確なモーションコントロールと高速処理を実現しています。ステッパーは水銀アークランプを使用して、プレートマスターを波長193 nmのウェーハに投影します。レーザー干渉パターンアライナー（LIPA）システムを搭載し、プレートマスターとウェーハの空間関係を測定し、素早い露光時間調整を可能にします。さらに、ステッパーはダイツダイ露出を利用して、リソグラフィーパターンの必要な精度を確保します。CANON FPA 1550 MARK IVWは、オンボードプログラマブルデバイスを使用して反復速度と露出条件を制御します。また、外部コンピュータを使用して複雑なパターン生成操作を簡素化するオプションもあります。さらに、3Dレーザー干渉計センサーを搭載し、リアルタイムのフィードバックとウェハの動きの補正を可能にします。安全のため、ステッパーは緊急停止ボタンを備えており、直ちにユニットの電源を切断し、安全なシャットダウンシーケンスを開始することができます。また、光学グレーティングセンサマシンを使用することで、ウェーハローディングのエラーを検出することができます。全体として、FPA-1550 MARK IV-Wは半導体生産における複雑なリソグラフィ処理に使用される高度で信頼性の高いステッパーです。その電動アライメントツールとオンボードプログラマブルデバイスは、迅速な反応と調整を可能にし、高水準の精度と効率を保証します。さらに、多くの安全メカニズムを備えており、人員と機器の両方の操作制御と保護を改善しています。