中古 CANON FPA 1550 MARK IV-W #9033673 を販売中

CANON FPA 1550 MARK IV-W（ウエハステッパー）は、壊れやすい基板上に高精度な機能を生成するように設計された完全自動リソグラフィ装置です。本機は、25nmの線幅にも達することができ、半導体集積回路やMEMSデバイスなどの製品を製造することができます。CANON FPA 1550 MARK IVWは、先進的な光学系と独自のデュアルソースシステムを採用しており、通常と逆の両方の画像を生成し、露出整合性を向上させます。静電気・磁界を利用し、基板の位置や向きを高精度に制御することができます。これはさらに、高輝度露光源と広い数値絞りのレンズの範囲と組み合わされます。このユニットには、2段階のプロセスを利用した自動アライメントマシンも含まれています。粗いアライメントスキャンツールを使用して適切なアライメントを迅速に決定し、ウェーハと基板のアライメントを微調整するために使用される微細なアライメントスキャンアセットも含まれています。これにより、基板上の画像を正確に登録することができます。FPA-1550 MARK IV-Wには、基板温度の正確な調節を保証する高度なステージ加熱および冷却モデルが装備されています。これにより、大きな温度変化下でもフォトレジストの最適な性能が保証されます。全体的に、FPA 1550 MARK IV-Wは25nm以下の特徴サイズの壊れやすい基板の高精度な特徴を作り出すことができる高度なリソグラフィ装置です。デュアルソースシステム、自動化されたアライメントスキャン、ステージ加熱および冷却ユニットを使用することで、一貫して高品質の結果を得ることができます。