中古 CANON FPA 1550 MARK IV-W #293589762 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293589762
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1995
i-Line stepper, 6"
HP1000 PC
Jeida standard wafer
Wafer type: OF
Reticle, 5":
QUARTZ Material type
Changer type: CANON Changer type-2
Case type: CANON Changer type-1
Optical system:
UL21-LS Lenz type
Magnification: 1/5
Field size: 22 mm
Illumination system:
Light source: Ultra-high pressure mercury lamp, 2.0 kW
Light control: Estimate exposure total
Masking function: (4) Independent blades
Wafer loader:
Type-1 / Type-2
Alignment light / HeNe Laser / HeCD Laser
Wafer alignment:
Type-1 / Type-2
System / HeNe Laser image processing / HeCD Laser sensor
Mode / AGA
Reticle alignment:
Type-1 / Type-2
Alignment light / g-Line
System / g-Line, TV image processing
XY Stage:
Type-2: Rolling around type
Automatic focus:
Type-2: LED PSD OPTF, 5-Channels
Wafer leveling:
Type-2: 3 Points drive global / Die by die leveling system
Mechanical pre alignment:
Type-2: Peripheral noncontact system
TV Pre alignment:
Type-1 / Type-2
System / OFF-Axis TV Image system
Carrier / (2) Loaders/(2) Unloaders
Chamber:
Type: TBW-CD-30W
Cooling system: Refrigeration unit／Heater control
Set temperature:
Booth：21℃
Stage／Lenz: 23°C
Reticle feeder: (14) Store reticles
CCD Camera
Inline: Stand alone
Signal tower
HeNe Laser missing
1995 vintage.
CANON FPA 1550 MARK IV-Wは、高度なイメージング技術を駆使し、精密構造や部品をミクロンレベルまで精密に加工する最先端のウェハステッパーです。高NAステップアンドスキャンリソグラフィ、サブミクロンのアライメント精度、インクリメンタルステージ移動、拡大解像度範囲、拡張最小フィーチャーサイズなど、さまざまな洗練された機能を提供します。また、モジュラーアーキテクチャで設計されており、特定のニーズに合わせて拡張することができます。CANON FPA 1550 MARK IVWは、複雑な構造やコンポーネントのカスタムレイアウトを作成するための高いNAステップアンドスキャンリソグラフィを提供します。この機能により、7Gsの最大加速度で正確で反復可能な画像を迅速に作成できます。システムの高いNAおよび連続スキャン動作により、サブミクロンレベルまでの超微細な解像度と6。5〜25nmの広範囲の解像度を提供します。MARK IV-W FPA-1550、キヤノンマイクロマージアライメントユニットに統合された1ミクロンのアライメント精度を有しています。これは、セグメント化された照明とコリメートされた領域検出の組み合わせを使用して、非常に効率的に駆動されます。これにより、シリコン、ガラス、石英などの幅広い基材を正確に揃えて加工することができます。完全なマシンはモジュラーアーキテクチャを備えており、最大10ステッピングステージを装備でき、それぞれ最大解像度は256nmです。このコンポーネントは、位置情報とフィーチャーデータを格納するオンボードメモリを備えており、コンポーネントの正確な配置を保証します。この機能は潜在的なエラーを低減し、生産を促進します。CANON FPA-1550 MARK IV-Wは、歪みを最小限に抑え、最小サイズを0。2ミクロン拡大した各種基板に対応可能です。CANON MicroMirrorの振動分離とCASA （Constant Acceleration Stress Absorber）フィルタを搭載し、振動や画像歪みのリスクを効果的に低減します。全体的に、FPA 1550 MARK IV-Wは、サブミクロン分解能と精度で精密な構造とコンポーネントを生成することができる最先端のステッパーです。また、高度なアライメントツール、モジュラーアーキテクチャ、振動絶縁機能を備えており、最小限の時間で最適な結果を得ることができます。
まだレビューはありません