中古 CANON FPA 1550 M IV-W #9296891 を販売中
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CANON FPA 1550 M IV-Wウェーハステッパーは、複雑なマイクロスケール構造を再現可能で信頼性の高い方法で生成するように設計されたハイエンドリソグラフィーツールです。その中核には、プログラマブルイルミネーションシステム、マイクロメーターレベルのステージ、およびハイスループット光学を組み合わせた6インチのフォトリソグラフィープラットフォームがあります。これにより、業界で比類のない精度で最小の光学素子の信頼性の高いパターン転送が可能になります。CANON FPA 1550 MIV-Wウェーハステッパーは、60nmまでの小型機能を正確にイメージングするためのハイスループット光学素子を採用しています。照明システムは交換可能な光源を特色にし、434 nmから590 nmの多目的な波長の範囲は抵抗の特性に一致させるために調節可能です。高度な収差補正により、ウェーハ表面の均一な照明を可能にし、波面誤差を最小限に抑え、露光時の優れた画像解像度と忠実度を提供します。MIV-WウェーハステッパーのポジショニングステージFPA-1550は、通常よりも広い作業スペースで幅広い動きを提供するように設計されています。最小ステップサイズ0。05 μ m、最小ステップタイム30msecのキヤノンFPA-1550 MIV-Wは、高精度なパターンのアライメントを実現します。ウェーハステージはX-Yと直交回転（θ）の両方を備えており、露出時にウェーハをシームレスに制御できます。FPA 1550 MIV-Wのスキャナ光学系は4倍から60倍の倍率を提供し、0。25〜0。7の数値開口範囲はトポロジ特性の近距離画像機能を提供します。さらに、光学系は、高コントラスト、定義、忠実度の感光材料を再現するように設計されています。FPA 1550 M IV-Wウェーハステッパーは完全なリソグラフィーツールであり、シングル露光モードとダブル露光モードをシームレスに切り替えることができます。このツールは、自動線量制御とオートフォーカスアルゴリズムも備えており、比類のない再現性とスループットを提供します。さらに、このマシンはプロセス環境に簡単に統合できるように設計されており、フルウェーハの検査と検証を自動化できます。CANON FPA 1550 M IV-Wウェーハステッパーは、今日のCMOSファブのニーズに合わせて特別に設計されたユニークで強力なツールです。高いスループット、精度、精度を備えたこのマシンは、最新の半導体リソグラフィープロセスの要求に適しており、厳しい製造シナリオに最適です。
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