中古 CANON FPA 121 #9177558 を販売中
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CANON FPA 121は、半導体製造のフォトリソグラフィ工程で使用されるウェハステッパーです。8インチ（200mm）のウエハサイズの高性能ステップアンドリピート露光装置です。FPA 121は、解像度を向上させ、エッチングを向上させるための高い数値開口度（0。75）を備えています。ダイナミックスキャンシステム（DSS）により、ステージを可動ミラーでスキャンすることで、高速で高精度なパターン転送が可能です。この技術はまた、その特性やパターンの数に関係なく、ウェーハ上の正確な配置とアライメントを保証します。CANON FPA 121は、単一の波長照明ユニットを備えた1。4Wspm（ウェーハ/時間）のスループットが向上し、ハイスループットでも一貫した性能を発揮します。また、自動露出制御、ポイントツーポイントステッチ、ウェーハ表面全体の高速スキャンなどの高度な技術も提供します。FPA 121には、マスク基板の歪みを低減するアーチドマスクチャックと、広い測定範囲の175µmを備えた高度なマスクアライナーがあります。また、イオンインプランターオプションと6軸アンギュラテーブルを備えた低汚染もあります。高度なステッパーは32nmの解像度を向上させ、パターンを正確かつ迅速にエッチングできます。また、高性能自動検査機（API）を搭載し、欠陥位置精度と検査速度を向上させます。CANON FPA 121は、X軸、Y軸、Z軸の2点間を素早く移動できる高速アプローチユニットで、高精度なマスクレイアウトが可能です。複数のモジュールを組み合わせて1つのステップアンドリピートツールを形成することができ、さまざまな生産ラインのアプリケーションに適しています。要約すると、FPA 121は高性能のステップアンドリピート露出アセットであり、高い数値絞り、ダイナミックスキャンモデル、スループットの向上、先進技術、低汚染、解像度の向上、高速アプローチユニットなどのユニークな機能を提供します。さまざまな半導体製造ラインに適しており、正確で迅速なパターンエッチングを提供するように設計されています。
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