中古 CANON EX6 #9352053 を販売中

CANON EX6は、半導体チップ製造プロセスで使用されるウェーハステッパーです。ウェーハ上で最も一貫して詳細で複雑なパターンを生成するために使用されます。ウェーハにマスクのイメージを投影するために使用されるイメージングミラーが装備されています。ミラーは、両方の軸を同時に傾けて焦点を合わせることができ、その結果、最高の精度の配置精度と画像の歪み補正が得られます。EX6には、新しいHigh-Resolution Ratio Expander （HRRE）も搭載されています。この技術は、ウェーハのアクティブ領域全体にわたって、より細かいラインと恒星の焦点のための非常に正確でシャープなイメージング特性を提供します。HRREには8枚のレンズと4枚のミラーが装備されており、マスクからウェーハに光を誘導し、0。08 μ m以下の線と表面のプロファイルディスプレイを提供します。また、3次元加速/減速システムを採用したキヤノンEX6は、精度を維持しながら位置決め時間を短縮し、生産性を向上させます。EX6は、デジタルイメージシステム（DIS）を組み込むことにより、デバイスのスケーリングの進歩を促進するように設計されています。このシステムはイメージセンサアレイを採用し、フィードバック技術を組み込んでパターンの解像度を最適化するオプションを提供します。DISを使用すると、ステージの動きの減速速度とスキャン速度を調整して、ウェーハをマスクに正確に配置できます。これらの特長に加えて、キヤノンEX6は、ステッパー内にいる間に超純水ジェット技術を使用してウェーハを洗浄することにより、ウェーハの粒子損傷や粒子汚染を低減するように設計されています。EX6には高度な診断機能も搭載されており、アライメントとオーバーレイパラメータをユーザーがカスタマイズできるようになっています。直感的でユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、ステッパー操作データを分析し、操作パフォーマンスを最適化できます。CANON EX6は、半導体製造に必要な最高の精度、精度、品質を実現することができ、半導体チップ製造に携わる方々に最適です。