中古 CANON EX5 #293778968 を販売中

CANON EX5（キヤノン）は、キヤノンが製造するウェーハステッパーです。1986年に開発され、30年以上にわたり精密リソグラフィの業界標準となっています。EX5は、チップ製造などの大量の産業用途向けに設計されており、優れた精度で微細かつ複雑な画像を生成することができます。CANON EX5は、直径10インチまでのマスターウェーハから画像を生成できるステップアンドリピート装置です。5軸移動機能を備えており、マスターとターゲットウエハの完全な位置制御と正確なアライメントを可能にします。また、独自の金型アライメントユニットを備えており、ターゲットのウェーハ上に個々の金型を正確に配置することができます。高い再現性と位置精度により、EX5は非常に高いレベルのディテールと均一性を持つ画像を生成することができます。キヤノンEX5は、キヤノンの特許を取得したSinusoid Gratingを使用しています。これは、標準的な接触法よりも細かい分解能を可能にする高度なフォトリソグラフィ技術です。これは、ウェーハ上に正弦波のレーザービームを配置し、ウェーハ上の特定の領域を露出させる干渉パターンを生成することによって行われます。レンズとその中心との間の角度と角度を制御することにより、ウェーハ上で異なる構造を作成または変更することができます。EX5はまたマスターおよびターゲット・ウェーハの熱均一性を可能にする独特な基質の暖房の技術を特色にします。これにより、温度変化によるパターンの凹凸や画像の歪みを防ぎます。また、CANON EX5では、オートフォーカスやオートフォーカスベースのウェーハステッパーも強化されており、ウェーハの急激な変化を認識し、それに応じてフォーカスを素早く調整することができます。最後に、EX5は、交換可能なマスクやレンズ、カスタムメイドのレンズに使用できるため、工具の面で高い汎用性を備えています。これにより、パターニングとリソグラフィーのオプションに関して、より高度なカスタマイズが可能になります。これらのすべての機能と手頃な価格で、CANON EX5はあらゆる産業用途に理想的なリソグラフィーソリューションです。