中古 CANON EX4 #9356495 を販売中

CANON EX4は、日本のイメージングおよび光学製品会社であるCANON、 Inc。が製造する高性能ウェーハステッパーです。高度な音色制御、解像度、特徴サイズの再現性、および優れた登録精度を可能にする「高度な」露光装置です。EX4は、半導体、マイクロエレクトロニクス、その他の産業において、ウェーハやその他のフラット基板に高解像度の画像を印刷するために使用されます。CANON EX4は、1ミクロン以下の高精度な特長サイズで、0。5ミクロン以下の再現性のある画像を印刷することができます。それは最大8つのレベルの広い露光緯度と色調制御を持っています。露光ヘッドには、印刷された画像の解像度とコントラストを向上させるデュアルアングル照明装置も備えています。この露出システムは、最新のパターン認識技術を使用して設計されており、パターンをすばやく検出し、露出パラメータを調整して一貫した結果を得ることができます。EX4は、安全性と人間工学を念頭に設計されています。それはウェーハのローディングを速く、容易および安全にさせる独特なローディング機械を特色にします。このツールは、露出前に表面の粒子、傷、破片をチェックすることができる監視資産を持っています。また、ウェーハの静電ダメージを防ぐ静電気防止モデルを搭載しています。さらに、振動を低減し、露出プロセスを正確に制御するための堅牢なロボットアームを備えています。CANON EX4では、さまざまな自動データ解析ツール、イメージングオプションなどの機能も提供しています。これらのオプションには、統合されたレシピインターフェイス、自動化されたツールアライメント機能、最適化された露出パラメータ設定、および監視と制御のためのリモートアクセス機器が含まれます。また、統合された自動欠陥レビューシステムを備えており、画像に欠陥がある領域を識別するのに役立ちます。全体的EX4は、ウェーハやその他のフラット基板に高解像度の画像を印刷するために使用される高度なウェーハステッパーです。デュアルアングルイルミネーションや帯電防止システムなどのその機能は、従来のステッパーよりも優れています。自動化されたデータ解析、イメージングオプション、リモートコントロールユニットは、半導体およびマイクロエレクトロニクス業界にとって貴重なツールです。