中古 CANON EX4 #9247920 を販売中

CANON EX4は、精密リソグラフィと材料分析における次世代ステッピングソリューションとして設計された最先端のウェハステッパーです。EX4は、25mmから300mmまでの露出フィールドサイズが可能なフルフィールドスキャニングステッパーです。ステッパーは、テレセントリック光学素子を利用した高精度アライメントと、フォーカスオートメーションを拡張し、優れた生産性と再現性を実現しています。これらの機能とCANON CSPI （Common Stepper Precision Initiative）を組み合わせることで、0.05µm （20nm）の最大オーバーレイ精度を実現します。CANON EX4は、最大解像度が0.4µmで、1回のショットで1ダイにつき最大3回の露出を最大8 μ mで低倍率または高解像度倍率の10µmで実行できます。ステッパーには、マニュアルと自動化された操作の両方を可能にするダブルボード配置装置があり、ユーザーは、効率と精度を向上させるために、マップと画像の両方の形式でボードパターンを調整して表示することができます。EX4は、最大12µmの焦点深度を提供する印象的な光学システムを備えており、より速く、より正確な露光フィールドを可能にします。さらに、ステッパーのフォースリフレッシュユニットは、露出のエラーを検出し、フィールド全体のZ軸を迅速に調整するように設計されています。機械はまた正確なイメージ投射を保障する迷光の干渉を除去します。キヤノンEX4はメンテナンスが容易で、人員や製品の安全対策に優れています。CANON Layout Managerソフトウェアパッケージと完全に統合されているため、10,000を超える部品構成可能なレシピやライブラリにアクセスして、露出制御と再現性を最適化するだけでなく、ボードの取り扱いを容易にするためのオンボードロボットハンドラも利用できます。最終的に、EX4は優れた精度とスムーズな動作を必要とするファブや大学のための理想的なウェーハステッパーです。最新のウエハスキャンソリューションとトラブルフリーの操作により、キヤノンEX4は制御、精密リソグラフィ、材料分析に最適なツールです。