中古 CANON ES5 #9227408 を販売中

CANON ES5は、半導体製造プロセスで使用される高仕様のウェーハステッパーです。ウェーハの高精度・高スループット露出処理を可能にするとともに、サブミクロンウェーハの高精度スキャン露出処理を実現します。キヤノンES-5は、空間精度0。047ミクロン（装置の総精度は3。5nm以下）、露出精度は0。25nmの500mm角フィールドを採用しています。様々な形状のプリント基板を加工しても精度向上が可能な独自のスキャンシステムを搭載しています。ES5は、漏れのないワンストロークで最大48枚のウエハ処理が可能な超高速ウエハハンドリングユニットを採用しています。高速かつ高精度のウェーハ露出を可能にします。ES-5にはM12電動回折式自動段があり、高速スキャンモードで高精度なアライメントと再現性を提供します。また、モータ駆動のオートフォーカス機構とオーバーラップスキャンモードを採用し、ウェーハの高品質な露出を確保しています。ステッパーにも画像処理機が組み込まれており、欠陥画像を修正し、全体的な露出時間を短縮します。また、高精度・高速レチクルステージとラミネートガラス基板を組み合わせたキヤノンES5は、幅広い薄膜デバイスに適しています。この機械の付加的な特徴は安定した、正確な位置を提供する高度の制御用具です。ステッパーはまた、光学歪みを低減し、フレアを最小限に抑えるためにレンズとミラーの組み合わせを使用する高度な独自の光学資産を組み込んでいます。高画質で高解像度、高コントラストを実現します。最後に、キヤノンES-5は、小型ウェーハ用の真空モデルと一体型レセプタクルも搭載しており、簡単な設置と積載が可能です。ステッパーは、ウェーハの取り扱いが絶対的な最小限に保たれるように、自動ローディングおよびアンロード機能の範囲を提供します。全体として、ES5は、最適なSEMI規格の露出処理とウェーハの正確な位置決めのために設計された、信じられないほど信頼性の高い効率的なステッパーです。高精度なアライメントと露出精度を実現し、全体的な露出時間を短縮できます。これにより、メーカーは高品質で高精度な製品を生産することができます。