中古 CANON ES3 #9272653 を販売中

CANON ES3は、ウェハステッパーを活用した高精度な半導体リソグラフィ装置です。幅広いプロセス要件に対応できるように設計されており、45nm〜180nmのデバイスを製造できます。ステッパー技術は、最高の効率と優れた再現性を提供する高スループットシステムです。CANON ES 3は、アライメントと露出モジュール、ウェハステージ、ウェハトランスファー機構、ウェハチャッキングユニットを備えています。アライメントと露出モジュールは、ウェーハ上の望ましい位置に光ビームを分析し、指示する責任があります。ウェーハステージは、露出前に正確にアライメントするために、ウェーハの正確なステップと位置決めを可能にします。ウェハトランスファーメカニズムは、ウェハステージと露出領域との間のウェハの正確な動きを保証します。ウェーハチャッキングマシンは、リソグラフィープロセスの各ステップでウェーハの安全で正確な位置決めを保証します。ES3は照明の最適化を利用して露出精度を向上させます。露光ツールは、高度なリソグラフィ照明アセット、レーザーアライメントモデル、および正確なカスタムレンズで構成されています。照明装置は露出のためのビームを正確に整列させる高性能レーザーによって制御されます。レーザーは、露出精度と均一性を確保するために、オンボード、正確に制御された光学系を使用しています。カスタムレンズは、2つの大きな独立したレンズと2つの小さな補助レンズで構成されています。ES 3はまた、ダイナミックレンジ、フォーカス深さ、ライン幅、クリティカル寸法などの重要なチップパラメータを測定できる強力な計測システムを備えています。これにより、迅速なチェックアウト速度で正確な測定が保証され、顧客に詳細かつ正確な露出とリソグラフィ結果を提供します。キヤノンES3ウェーハステッパーは、正確で信頼性の高い高性能なリソグラフィ結果を提供する強力なユニットです。その特徴は、単純なダイから複雑なハイエンドチップ設計までのアプリケーションに適しています。高いスループットと精密な光学部品により、最高レベルの精度と性能を実現します。