中古 CANON ES2 #9272652 を販売中

CANON ES2は、高精度、高スループット、低線量（X線）で優れた画質で知られるウェーハステッパーです。これは、半導体業界で利用可能な最も先進的なソリューションの1つであり、しばしば微細構造イメージングの作成に使用されます。CANON ES 2は、標準設定で最大1 Wa/secのスループットで、高速で正確なスキャンとモーター駆動を実現するよう設計されています。この速度であっても、スキャンの精度は高く保たれ、最大0。2 µmの精度段階を達成する可能性があります。ウェーハステッパーとして、XYスキャンステージと垂直実装ステージからなるデュアルステージステッピングメカニズムを備えています。XYステージは圧電式ダイレクトドライブシステムを備えているため、精度、速度、再現性を向上させるために、かさばる従来のステッピングモータを必要としません。ES2は、高効率な光学システムを搭載しており、画像品質を維持しながら部分スキャンモードを利用して露光時間を短縮することができます。また、微小露光も可能で、5 µmの小さな領域でも高精度で画像を作成することができます。また、ウェーハステッパーは、画像の精度、信頼性、再現性を高めるためのソフトウェア最適化機能を多数提供しています。その自動露出制御は、一発撮影の画像を一貫して正確な結果で取得することができます、その多露光補正ソフトウェアは、ユーザーが高品質の画像を作成する露出をオーバーラップすることができます。また、ドリフト補正機能により、地球の重力や振動を補正し、誤差の少ない高分解能イメージングを実現しています。全体として、ES 2は露光時間を最小限に抑えた高精度なイメージングを実現するために設計された高度なウェーハステッパーです。その強力なデュアルステージXYステッピングメカニズム、効率的な光学システム、さまざまなソフトウェア機能により、特殊な半導体イメージング要件に最適です。