中古 CANON ES2+ #9272650 を販売中

CANON ES2+
製造業者
CANON
モデル
ES2+
ID: 9272650
Stepper.
CANON ES2+は、厳密な公差と困難なデータセットに精度と精度を提供するように設計された、最高級のウェーハステッパーです。多段精密モータと制御システムを備えた高度な光学リソグラフィ装置で、ユーザーはウェーハを正確に整列させ、露出を操作し、プロセスを通じて迅速かつ正確にウェーハを移動させることができます。ユニットは、登録/ローディングステーション、露出ヘッド、ウェーハ操作専用の3段階、アライメントステージ、トラックセットマーカー、内蔵のエアベアリングステージで構成されています。ES2+は超高精度ズームレンズを搭載し、ウェーハの高速作動を実現しています。これにより、露光時間を最小限に抑え、汚染や欠陥を低減した高精細画像を実現できます。また、露光プロセスが始まる前にウェーハの欠陥を検査、識別、拒絶することができ、高価な露出の再作業を削減することができます。CANON ES2+は、5インチおよび6インチ(152 mmおよび193 mm)ウェーハと互換性があり、正確なオーバーレイ登録とアライメントが可能です。ES2+は高度なプロセス制御機能を備えています。これらには、プログラム可能なウェーハ操作サポート、オブジェクト認識、光学歪み制御、正確な露出ヘッド位置モニタ、自動化されたプロセス管理、露出評価モニタが内蔵されています。これらの機能により、繊細なウェーハリソグラフィープロセスを正確に制御できます。CANON ES2+の応答性は、高度な機能幅と露出戦略を使用することで、プロセス歩留まりの向上とスクラップの削減を可能にします。ES2+はユーザーフレンドリーで、操作を簡単にするための直感的なコマンドセットを備えたグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えています。オートフォーカス校正メニューも用意されており、敏感なアライメント操作のためのツールを簡単に設定できます。キヤノンES2+は、着実なフォーカスを維持し、過度の振動によるずれを低減する独自の振動アセットを搭載し、精度向上に貢献しています。また、モータ駆動の減衰器を搭載し、露出を素早く正確に低減します。ES2+は、プリインストールされた状態で出荷されるため、すぐに使用できます。さらに、CANONの設備統合プラットフォームにより設置が簡素化され、迅速なシステム統合が可能になります。また、CANON 24/7サポートサービスによって監視およびサポートされ、パフォーマンスと稼働時間を保証します。CANON ES2+は、ウェーハ露出ニーズに優れたソリューションを提供し、セットアップ時間と手間を最小限に抑えた高品質な結果を提供します。
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