中古 CANON 52 #9284911 を販売中

キヤノン52は、半導体業界でリソグラフィ用に使用されているキヤノン株式会社が製造するウェハステッパーです。高解像度光学機器のイメージング原理と高度な半導体パターンジェネレータを組み合わせた露光操作により、5Xから75Xまでの倍率でウェーハに画像を投影することができます。このシステムは、リソグラフィープロセスの結果で高精度を確保するために、さまざまな統合された機能で設計されています。モータ、ステージの位置、移動方向、アライメント条件などの情報を集約した位置測定ユニット（PMS）を搭載し、露光動作の精度を高めています。また、ハイドロスタティックステージの設計を活用して振動を低減するContortion Compensation Tool （CCS）も搭載しており、高解像度のイメージングが可能です。52はまた、光の利用を最大化するために、数値開口（NA）と波長の範囲を扱うことができる露光設備を持っています。このアセットにはSensor Enhanced Technology （SET）も組み込まれており、アクティブな自動アライメント管理を可能にし、ウェハ特性に基づいて露出条件を制御します。これにより、生産全体で正確な画像露出が保証されます。このモデルには、さまざまなウェーハの高さに合わせて、高精度で高速なフォーカスを行うオートフォーカス装置が装備されています。この自動焦点システムは、リアルタイムの乱流補償を提供するOpto-Mechatronic設計です。このユニットには干渉計の波面センサーがあり、ウェーハと光学間の波面の光学歪みの変化を測定して検出するために使用され、正確な露出動作を可能にします。CANON 52は、1インチから8インチまでの幅広いウエハサイズに対応でき、1時間あたり1,000個のウエハーを搭載しています。露出モードは、露出エラーを防ぐように設計された完全に自動化された障害検出および補正ツールで、ステップおよび繰り返し露出をサポートします。これらの機能に加えて、52は高度なパターン最適化と分析を通じて高度なプロセス理解を提供します。これにより、メーカーは複数の露出実行を実行することなく、ウェーハを最適化し、露出パラメータを調整することができます。このプロセス最適化機能により、効率が向上し、廃棄物が削減され、歩留まり率が向上します。