中古 CANON 420209887 #9308582 を販売中

CANON 420209887は、半導体パターニングやリソグラフィ用途に使用される先進的なウェーハステッパーです。このデバイスは、キヤノンエリートシリーズのステッパーの一部であり、チップ生産のための高効率と精度を提供します。高解像度で直径8インチまでのウェーハを露出することができます。420209887は、ハイQEまたは3 841mJ/cm2 mアライメント用に最大μのUVエネルギー範囲を提供する照明装置を備えています。可変アスペクト比の対物レンズをステッパーに内蔵し、最大解像度16nmのライン/スペースと5um接触アライメントを実現します。これにより、画像の歪みを引き起こすことなく、複雑な回路パターンを効率的に露出することができます。また、ウェーハを露出する際のプロセス変動をAIアルゴリズムで予測するOPCモジュールを搭載しています。ウェーハは自動ローディングユニットを介してマシンにロードされ、高速スループットを実現します。マガジンは最大150個の8インチウェーハを収納できます。CANON 420209887は、工具内部の圧力と温度を維持する高度な空気管理機械で設計されています。これにより、露出とエッチングの結果が一貫して維持されます。このアセットはまた、最小機能サイズが16nmであるため、より複雑な回路パターンを可能にします。このマシンにはFOUP Auto Changeモデルも装備されており、ボタンをクリックするだけでFOUPパッケージをすばやく交換できます。これにより、ダウンタイムを短縮し、プロセスの変更を簡素化できます。最後に、最先端のE-Maxコントローラがマシンに統合され、完全なユーザーインターフェイスと監視機器を提供して高精度のパフォーマンスを実現します。全体として、 420209887は精度と高効率のために設計された高度なウェーハステッパーです。紫外線エネルギー範囲、可変アスペクト比の対物レンズ、自動ローディングシステム、5um接触アライメント、FOUPオートチェンジユニットなど、幅広い機能を提供します。高度の空気管理機械およびE MAXのコントローラーはさらに性能および正確さを高めます。