中古 CANON 36-3 #9284914 を販売中

キヤノン36-3ウェーハステッパーは、集積回路の製造に使用される高度に自動化された精密な機械です。半導体ウェーハ上の回路パターンを高精度に生成することができます。ステップフォトリソグラフィ（step and repeat photolithography）と呼ばれる手法を用いており、一連のステップマスクを通してウェーハを光のパターンに露出させる。36-3は高い生産性のために設計されています、ステップごとのわずか6秒の周期の時間と。最先端のビジョンシステムを搭載し、エラーを迅速に特定し、正確な結果を保証します。高度な光学システムは直径365nmの分解能を備えており、高度なリソグラフィープロセスで使用される最小のノードをパターン化するのに適しています。キヤノン36-3は、直径8インチまでのウェーハに対応できるモーター式の多軸ステージを採用しています。露光ステージには6つの独立した電動軸があり、ナノメートル精度の複雑なマルチパターンアライメントが可能です。さらに、電動サーボ値は露出精度を高め、レシピ開発時間を短縮します。36-3 Wafer Stepperには、プログラミングを簡素化し、専門的なプログラミング知識を必要としないユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が付属しています。カスタムレシピは、内蔵メモリを介してインポートおよびエクスポートすることができます。このマシンにはオンラインプリセットも含まれており、1つのボタンを押すだけでウェーハステージを正確に設定できます。CANON 36-3は、ステッパーの動作中に異常を検出および報告する高度な診断機能を備えた自動メンテナンス機能を備え、最大の稼働時間を確保します。さらに、ネットワーク内の他のマシンと接続できるネットワーキングオプションが含まれており、簡単なデータ交換が可能です。要約すると、36-3ウェーハステッパーは最先端の技術機能を備えた革新的なマシンであり、高精度フォトリソグラフィに最適です。高精度、高速、簡単なプログラミング機能、自動化されたメンテナンスおよび診断システムを備えています。これは、高精度なパターンを生成するために探している任意の集積回路生産施設のための完璧な選択肢です。