中古 CANON 13 #9284912 を販売中

キヤノン13は、キヤノン株式会社が製造する精密ウェーハステッパーです。半導体、フォトニクス、MEMS、 IC/MEMS/BIO業界の高精度フォトリソグラフィ用に設計されています。このマシンは、ハイスループット用途向けに設計されており、シリコン、石英、ガラスなどの基板上で非常に高品質な画像を生成することができます。13は、メインオプティカルユニットと独立したシャッターコントロールユニットを備えたデュアルヘッドデザインを備えています。メインオプティカルユニットには周波数2倍のKrFエキシマーレーザーが搭載されており、薄型ウェハでの高スループットを実現しています。また、光源用と投影用の2つのフォーカスレンズを内蔵しており、光強度、スポットサイズ、フォーカスを正確に制御できます。プロジェクションレンズは、ウェーハ上の高性能リソグラフィ用に設計された、3グループの非球面レンズです。メインオプティカルユニットには露光ステージも内蔵しており、モータ駆動とウェハのサポート機構を備えています。シャッターコントロールユニットは、レーザーのシャッタースピードを提供し、露光時間を正確に制御します。シャッターアームメカニズムと正確な露出制御のためのタイムベースのシャッターコントロールが含まれています。露出時間は0。2msから5msに調節することができます。CANON 13にはX-Yオートステージも内蔵されており、露出領域全体にわたるウェハスキャンが可能です。それはあらゆる方向で2000mm/secまでスキャンできます。X-Yオートステージは、高精度のフィードバックモータによって駆動されます。また、X-Y同期制御データ出力回路を内蔵しており、シャッターコントロールユニットとオートステージの正確な同期が可能です。13はまた、結果の画像が正確かつ正確であることを保証する高精度なアライメントとフォーカス制御装置を備えています。高精度の自動アライメントシステムを備えており、レーザーとフォトマスクを正確にアライメントすることができます。フォーカスコントロールユニットは、プロジェクションレンズがウェーハに正確に集中するように設計されています。キヤノン13は、最高精度とスループットを追求した高精度なリソグラフィ装置です。その機能とコントロールは、非常に正確で高品質の画像を生成することができます。露光時間と精度を正確に制御しながら、広い領域を素早くスキャンできるため、高品質で信頼性の高いリソグラフィーソリューションを必要とする人に最適です。