中古 CANNON No36-3 #9284913 を販売中

CANNON No36-3は、半導体製造アプリケーションでの露出処理を自動化するために設計された自動ウェーハステッパーです。X軸移動源からのハイコントラストXTHC光を用いた露光パターンが可能です。ウェーハステッパーは、エアサスペンションと高解像度イメージング装置を備えており、高度に定義されたステップ精度とパターンの再現性でスループットを向上させます。XTHC光源は、最適な処理のためにウェーハを正確に配置することができます。動的集中機能を備えた完全自動化機能により、均一性とフルフィールドイメージングの再現性が向上します。光強度のバリエーションに加えて、高解像度のイメージセンサアレイとXthc光の電源も備えています。このシステムの精度はその性能の特徴であり、高解像度パターンステッピングを提供します。ウェーハステッパーは、ステンレス製のフレームワークで構成され、ウェーハを均一にサスペンドし、振動を防ぐ4つの調整可能な剛性減衰アームが含まれています。ドライブレールはY軸移動方向にあり、Z軸上のカウンターウェイトによりウェーハアライメント状態を正確に制御できます。No36-3は、異なる負荷条件下での高解像度画像取得のために、3軸すべての振動計を備えたクロスストップモーションプロファイルを使用しています。画像解析はX軸に沿って行われ、1行につき最大16のピーク断面があります。スキャンテロメトリー法は、ウェーハパターンのスキャン線の方向と傾斜角度を測定するために使用されます。このデータは、画像処理中に使用され、正確な登録のために再起動されたファジーラインパターンを生成します。CANNON No36-3には、ウェーハの位置を制御する20ビットエンコーダと、最適なスループットを実現する同期X-Yドライブが搭載されています。ステッパーには、効率的な操作のための自己生成プログラムコード（SPC）とメニュー駆動のパラメータコントローラもあります。自己完結型プロセス制御ユニットは、プロセスレシピと露出分解能に応じて、さまざまな露出時間を提供します。このマシンは、複数の露出とシャッターブレード制御のための特別な操作を可能にします。オートチューニングとキャリブレーション機能により、No36-3は正確な露出を保証し、目的のパターンを作成するために調整することができます。また、許容範囲は± 10 μ mで、高解像度のウェーハ統合に適しています。CANNON No36-3は、ウェーハ基板上に透明で正確なパターンを生成できる高度な自動ウェーハステッパーです。最先端の性能と機能により、半導体製造アプリケーションでの高精度露光処理に最適です。