中古 CANNON No210 #9284908 を販売中

CANNON No210ウェーハステッパーは、集積回路の高精度リソグラフィに使用される最先端の半導体リソグラフィーツールです。スキャナ型マスクアライナーを搭載し、基板やフォトマスクにパターンを完全に自動化し信頼性の高いアライメントを可能にし、高速かつ正確なフォトリソグラフィ処理を可能にします。このデバイスのスキャナ機能は、最大1。2nmの解像度と、42x42mmのショット領域（垂直方向X-Y平面）を提供します。さらに、ユーザーは、マルチレイヤアプリケーション用に最大6つの露出ヘッドをマウントし、カメラのさまざまなopto-mechanical要素を同時に設定することができます。CANON No210はマイクロステージスキャン機能を備えており、複数の構成で操作できます。シングルショットステージスキャンにより、各イメージフィールドを一度にフルパターンカバレッジできます。マルチフィールドスキャンにより、複数の部分でフィールド露出を分離し、各セクションでより高い露出を可能にし、画像と機能の精度を向上させます。ウェーハステッパーには、自動化された操作のためのさまざまな機能が装備されています。自動露出制御は露出プロセス中に露出パラメータを継続的に調整しますが、自動焦点調整はウェーハフィールド全体の高さと幅の両方で最適な焦点を維持します。露光プロセス全体の精度と安定性を確保するために、このデバイスは自動照明制御と設計規則チェック（DRV）校正も提供します。CANON CANNON No210は、集積回路の迅速かつ正確な露出を行うことができる洗練された包括的なウェーハステッパーです。スキャナとマイクロステージ機能を組み合わせることで、幅広い露出と解像度を実現します。また、自動化された機能により、信頼性の高い一貫した露出プロセスを実現します。