中古 C SUN Stepper #293669782 を販売中
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C SUN Stepperは、フォトリソグラフィを使用して集積回路をパターン化するために使用される高度なウェーハステッパーです。C SUN Stepperは、集積回路設計の高精度で高解像度の露光を光に与えるように設計されています。それは正確な特徴のサイズおよび反復可能な直線を可能にする機械、イメージ投射および照明の部品から成っています。機械的には、ステッパーは、レチクル（またはマスク）を保持するレチクル段からなる4クアドラントアライメント装置と、ウェハまたは基板を保持するウェハステージを備えています。このシステムは、セミオートメーションとオートメーションをサポートし、最大8インチのサイズのウェーハに対応できます。さらに、C SUN Stepperは、フィールドのステップアライメントとステッチングをサポートしています。ステッパーは、高絞りの光学機器と高精度モータを組み合わせてイメージシフトや倍率操作を行うイメージングユニットを提供しています。最大分解能0。4ミクロンの可変数値開口（NA）と、0。25ミクロンの画像をサポートするHNA （High Numerical Aperture）レンズを備えています。このツールには、調整可能なレチクルフォーカス機構も含まれています。C SUN Stepperはまた、マルチゾーンフォーカス制御と一貫した焦点深度の大面積の均一性をサポートする可変照明アセットを備えています。可変開口および可変減衰シャッターを使用して、照明プロファイルを微調整し、最高の露光性能を実現します。Stepperは、長時間の生産でも高い再現性を確保するオートアライメント機能も提供しています。全体的に、C SUN Stepperは、集積回路を正確かつ確実にパターン化するために設計されています。イメージング、照明、アライメント部品の組み合わせにより、生産グレードの集積回路を製造するための信頼性の高い選択肢となります。
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