中古 ASML XT 850F #9244892 を販売中

ASML XT 850Fは、製造ラボでウェーハ上の集積回路を作成および検査するために設計されたウェーハステッパーです。ステッパーは、光浸漬リソグラフィを使用して、高精度な動きと光の露出のシリーズを介してウェーハの表面に画像を作成します。X軸で0。13ミクロン、Y軸で0。20ミクロンまでの非常に高解像度のチップを製造することができます。XT 850Fは、独自の高性能レーザー装置を使用して、一連の基板上のリソグラフィーパターンを露出させます。レーザーは高い照明の均等性を作成し、改善されたスキャンの質を発生させるために多分野の光学システムと供給されます。ウェハはチャックに取り付けられ、高性能でリニアモータ駆動のステージで移動します。スキャンの均一性を向上させるために、ASML XT 850Fステッパーには温度制御ユニットがあり、ウェハを摂氏1/10以内に維持することができます。また、高感度の高速干渉計クローズドループ計測機を搭載し、高さの変化を正確かつ迅速に検出します。ステッパーのイメージングツールには、オートフォーカスとオートフォーカスの両方が含まれており、優れたフォーカスパフォーマンスを実現します。また、高精度のステッピングステージ、モーター駆動、ステージを使用して、より正確な位置決めと画質の向上を実現しています。操作面では、XT 850Fは使いやすさと信頼性のために構築されています。その極端な精度と再現性に加えて、それはまた、ミスアライメントを防止し、検出するための安全機能と特別なアラーム機能の数で設計されています。メンテナンスフリーで長寿命を実現しています。全体として、ASML XT 850Fは非常に汎用性が高く信頼性の高いウェーハステッパーであり、ウェーハ上の高解像度、高精度の集積回路を生成するように設計されています。温度制御モデル、オートフォーカスおよび自動露光システム、高性能レーザー装置、クローズドループ計測システムなど、優れたイメージング性能、精度、信頼性を保証するさまざまな機能を備えています。