中古 ASML XT 760F #9273568 を販売中
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ID: 9273568
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
DUV Scanner, 12"
Sub process: Low KrF
Material / Chemical: Align
SMIF / FOUP
TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Load module
Process module
Workstation
ETC
(70) Lenses
GIGA A700GK Laser
Machine parts and covering panels:
Wafer stage
Bottom module
Charcoal filter
Side channel blower
(5) Machine parts
Process module:
PM1: Light source
PM2: Alignment
PM3: Stage
Cabinet:
ELEC
MDC
LCWC
MCWC
RSRC
WSRC
Air control
Exhaust
Laser:
AOM
LMA
Excimer
Composition:
ETC
Parts
Tool
Operating system: UNIX
2008 vintage.
ASML XT 760Fは、フォトリソグラフィに使用されるウェーハステッパーです。分散を最小限に抑えた高解像度部品を製造できる最先端の機械です。石英、シリコン、ガラスなど様々な基板に対応できるように設計されているため、必要な正確な仕様で部品を製造することができます。ASML XT:760Fは、x、 y、 z方向に移動する高度な光学投影装置です。また、デジタルフォトプロセッサを内蔵しており、イメージング中に測定を行い、高精度の部品を確保することができます。基板やマスクのずれを補正する傾き補正器を備えており、優れたファインピッチ機能を実現しています。XT 760 Fには8バンド光源が搭載されており、最大直径12インチまでのさまざまなウェーハサイズに対応でき、同時に最大20個のウェーハを使用できます。また、モータ駆動の半自動ウェハハンドリングシステムを搭載しており、表面を傷つけたり傷つけたりすることなく安全にウェハーを移動できます。XT:760Fのアライメントと解像度は優れており、精度は0。4 µm、線幅は0。07 µmです。超微細ピッチ部品に最適で、パワフルな光学ユニットは、最大0。2 µmまでの特長サイズに焦点を当てることができます。XT 760Fは信頼性が高く、生産されるすべての部品との一貫性と正確性を確保するために、一連の保護装置を備えています。それは必要性を満たすためにカスタマイズすることができる光学および静止した、自動クリーニング機械を収容する保護キャビネットを特色にします。究極の柔軟性のために、ASML XT 760 Fはマスクレス加工機能も備えており、ユーザーはマスクを必要とせずに素早く部品を製造するようにプログラムすることができます。これにより、全体的な生産コストと時間を削減できます。ASML XT 760Fは、最高水準のウェーハステッパーであり、最高水準を満たすことができる信頼性の高い正確なマシンを探している人に最適です。超微細ピッチ機能を必要としたり、高解像度の部品を製造しようとしている人に最適なマシンです。
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