中古 ASML XT 760F #9243126 を販売中

ASML XT 760Fは、半導体生産におけるリソグラフィを目的として光学、機械、計算機能を調整するウェーハステッパーです。マルチプロジェクトウェーハスループットを従来の4倍まで高速化することが可能で、2K真空チャックと完全AUTO DCG/DCPを搭載しています。ASML XT:760Fには、i-lineまたはArFリソグラフィ用の5X/6Xな高出力システムがあります。フォーカスレチクルとレンズチューナーを改良したダブルフィールドスキャンニューラルネットワークを備えています。ダブルフィールドスキャンニューラルネットワークは、輪郭を描いた曲面を検出する機能を備えています。フィールドマッチングされたFXLTMレチクルは、ウェーハの表面全体にわたって均一でないピッチパターンを保証します。XT 760 Fは11度スキャンで設計されており、ウェーハ上に光学フィールドを極めて低い歪みと超高精度に配置します。高速チューニングシステム（FTS）を搭載しており、高速レチクル交換が可能で、光学フィールドサイズは30 µmと高度な機能を備えています。さらに、XT 760Fは欠陥線量予測による欠陥の低減、均一性を高めるための4Dステッチ、高度なウェハレベルのデータロギングなど、幅広い機能を備えています。ASML XT 760 Fは、古いウェーハステッパーと比較して画質とオーバーレイ品質が向上しています。これは、露出フィールド全体での再現性が向上したパターン補正と自動露出アルゴリズムの改善によるものです。ウエハステッパーは、Windowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイスとメニュー駆動のソフトウェア操作を使用して管理されます。XT:760Fは接触イメージ投射、クロムまたはスキャンクリーナー/ブースター構成を含む付加的な選択を加えることによってあらゆる適用のためにカスタマイズすることができます。ウェハステッパーには、異常なフォトマスクや印刷条件を迅速に検出するための安全モジュールも内蔵されています。ASML XT 760Fは、質の高いウェーハステッパーのASML伝統を手頃な価格で続けています。最先端のコンポーネントと、品質と性能を向上させたデザインが特徴です。ASML XT:760Fにより、お客様は最大限のウェハマウント欠陥防止と高い歩留まりを期待できます。