中古 ASML XT 1700Gi #9299038 を販売中

ASML XT 1700Giは、正確なイントラウェーハパターニング用に設計されたハイエンドウェーハステッパーです。ツインレンズ投影コラムとテーラードイルミネーションワークモジュールを備え、0。75の数値開口（NA）と最大1250 x 1750mmのフィールドサイズを提供します。厚さ6〜220mmの露出で使用できるように設計されており、幅広い加工範囲を実現しています。ステッパーのイメージングシステムは、高度な投影リソグラフィを使用して、パターン画像を基板に投影します。また、エネルギー範囲の6-23mJ/cm2もあり、ほとんどの新しいパターン材料に適しています。また、三次元半等方性の偏光補正板を搭載し、紫外線（UV）露光時に精度と再現性を提供します。このマシンは、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）によって制御されます。GUIは複雑な操作シーケンスを制御することができ、パターン生成のために他のモジュールと統合し、診断を追跡することができます。また、高速パターン認識オプションが装備されているため、発生する可能性のあるエラーを追跡して修正することができます。ステッパーはまた、最大200mm/sの速度に達することができる高出力ウェーハステージを誇っています。ステッパーは、サイズやアプリケーションのニーズに応じてカスタマイズすることができ、異なる構成でも利用できます。ステッパー内部の空気清浄度を監視・維持する環境制御システムを搭載しています。この監視機能により、汚染レベルを低く抑え、機械を安全かつ効果的に稼働させることができます。XT 1700Giは、広い露光範囲で正確なイントラウェーハパターンを生成することができる高度なウェーハステッパーです。その汎用性の高い照明モジュールと3D半等方性偏光補正プレートは、精度と再現性を保証します。ユーザーフレンドリーなGUIおよび環境制御システムと組み合わされる調節可能な速度は機械をあらゆるウエハーパターニングの仕事のための信頼でき、有効な選択にします。