中古 ASML XT 1700FI #9391547 を販売中

ASML XT 1700FIウェーハステッパーは、最高レベルの精度と信頼性を持つ半導体構成部品のメーカーを提供するために作成された高度なリソグラフィ装置です。これは、広範囲の集積回路マスクメイクおよびウェーハサイズにわたるリソグラフィー用途を実行するように設計されています。ASML XT1700FIは、独自の高解像度イメージングシステムを採用し、非常に強力で精密な光学リソグラフィ処理速度と0。30 μ mの画像解像度を実現しています。XT:1700FIの中心は、9つの高抵抗プロジェクションレンズを含む独自のレーザー投影カラムです。このユニットはまた、投影機がウェーハを横方向に移動することを可能にするNasmythタイプのミラーシフティングデバイスを備えています。ASML XT 1700 FIは、プロジェクションツールの高効率光学とミラーシフティングメカニズムを組み合わせることで、最大200mmウェーハで精密かつ均一なイメージカバレッジを実現します。強力な投影アセットに加えて、ASML XT:1700FIには「All Focus」というユニークな機能も含まれています。この機能により、ウェーハステアリングモデルの焦点をウェーハサーフェス全体にわたって調整することができます。これにより、装置は望ましいウエハプロファイルに合わせて投影画像を調整し、優れた欠陥のない画像の作成を支援します。XT1700FIのもう一つの特徴は、ユーザーが使用されているウェーハ材料の特定の制限を満たすためにユニットを調整することを可能にする高度に進化した制御システムです。制御マシンの助けを借りて、ユーザーは高いスループット率、短いサイクル時間、およびプロセスの再現性の向上を達成することができます。最後に、XT 1700 FIは、半導体製造に必要な最高レベルの信頼性と再現性を確保するために、最高の建設基準に基づいて構築されています。このツールには、デュアルアセットコントローラなどの安全機能も組み込まれており、1つのコンポーネントが故障してもモデルが正しく動作し続けることができます。XT 1700FIは最先端のウェーハステッパーで、半導体ウェーハ製造において高解像度のイメージングと再現可能なアプリケーションを提供するように設計されています。高度な光学とエレクトロニクスにより、さまざまな集積回路（IC）アプリケーションで高速化と生産性の向上を実現します。ASML XTは、最高品質の規格に基づいて構築され、信頼性が高く、耐久性に優れたリソグラフィ装置です。