中古 ASML XT 1700FI #9379826 を販売中
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ID: 9379826
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
ArF Scanner, 12"
Main body
Wafer stage
LMA Module
AOM Laser
EGPS
(5) Cover panels
Excimer laser
Charcoal filter
Spare parts
Cabinet:
ACC
MDC
ELEC
WICC
WISC
RSRC
MCWC
WSRC
2006 vintage.
ASML XT 1700FIは、半導体デバイスの処理用に設計されたウェーハステッパーです。Applied Materials社によって製造されており、高度なデバイスの大量生産のための業界をリードするツールです。この装置は、利用可能な最高のリソグラフィとオーバーレイ精度を提供するように設計されています。ASML XT1700FIは、ウェーハサイズを2〜8インチから加工可能で、公称解像度は438nmです。このシステムは、高品質の画像処理と優れた深度フォーカス制御を提供します。このユニットは、フルフィールドリソグラフィースキャンを内蔵しており、ウェハ全体を簡単かつ正確に露出することができます。ウェーハステッパーは、より高い露出速度を可能にするユニークなスキャナーレーザーマシンを内蔵しています。また、複数の露出モードを可能にする4。5インチレーザースキャニングツールレンズのペアを備えています。このアセットの電子ビームマスクレスリソグラフィ露光サブシステムは、マスキングと検査の要件を削減するのに役立ちます。電子ビームマスクレスリソグラフィはまた、リソグラフィ損傷のリスクを減らすことができます。XT:1700FIは、アライメントとオーバーレイのためのASML Digital Micro Imaging Softwareを含む業界最先端のソフトウェアと完全に互換性があります。Micron Trackerの最新バージョンとも互換性があります。このモデルは、高いレベルの信頼性と安定性を提供する高度な産業用PCプラットフォームで構築されています。XT 1700 FIは、ウェーハ全体の正確な追跡とスキャンを保証する5軸方向を備えています。この機器には、プログラム可能な照明器と、スティグメーター、ディフューザー、ダークフィールド光学などの幅広いアクセサリーも含まれています。XT1700FIはまた、ウェーハが表面全体に正しく露出することを保証する高性能のマイクロ焦点システムを備えています。露出分解能を制御するために使用されるマイクロレンズもユニットの一部です。機械の高度な制御ソフトウェアは、生産性とスループットを向上させながら、オペレータのエラーを低減するのに役立ちます。全体として、ASML XT:1700FIは、信頼性と安定した性能を提供しながら、優れた画像処理結果を生成することができる業界をリードするウェーハステッパーです。このツールは高度なデバイス処理に最適で、最高の生産要件を満たすように設計されています。
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