中古 ASML XT 1700FI #9296951 を販売中

ASML XT 1700FIは、ASML社製のウェーハステッパーです。本機は、集積回路製造時にシリコンウェーハ上にパターンを印刷するために使用されるリソグラフィ装置です。0。5ミクロンの数値分解能を持ち、公称精度は0。4ミクロンである。ASML XT1700FIは「、ステップとスキャン」と呼ばれるカスタム設計の顕微鏡システムを利用しています。このユニットは、ウェーハの表面をスキャンし、印刷しているパターンの完全な写真をキャプチャします。これにより、パターンの新しいレイヤーを印刷するたびにフォーカスを素早く調整することができ、ウェーハ表面全体にわたって非常に正確なライン幅が得られます。XT:1700FIはまた、高度な冷却機を備えています。この冷却ツールは、ユニットの周りに継続的に冷却剤を循環させる冷却回路とプロセス熱交換器で構成されています。熱交換器は、レーザービームと画像検出器を積極的に冷却するために圧縮機を使用する蒸気圧縮サイクラーで構成されています。これにより、装置の高精度印刷に不可欠な動作温度範囲内に留まることができます。XT1700FIは、50mmから300mmまでの幅広いサイズのウェーハサイズに対応できます。このマシンは、印刷されるパターンの複雑さに応じて、1時間あたり最大2528ウェーハを印刷することができます。XT 1700 FIは非常に精密で信頼性の高いリソグラフィ資産であり、市場で最も人気のあるウェーハステッパーの1つです。その正確な数値分解能は複雑なパターンを印刷するのに理想的ですが、冷却モデルはユニットが最適な動作温度内に一貫していることを保証します。幅広いウエハサイズに対応可能で、1時間あたり最大2528枚のウエハを印刷できます。ASML XT 1700 FIは、ユーザーの精度と信頼性を保証する品質のウェーハステッパーです。