中古 ASML XT 1700FI #9293669 を販売中

ASML XT 1700FI
製造業者
ASML
モデル
XT 1700FI
ID: 9293669
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Immersion ArF Scanner, 12" 2012 vintage.
ASML XT 1700FIは、半導体ウェーハの製造用に設計された最先端のウェーハステッパーです。XT 1700ファミリーのステッパーは、10 nm以下のテクノロジーノードの要求に応えるために、優れたリソグラフィ性能と精度を提供します。高感度の画像アライメント装置と高度な機械制御を備えたASML XT1700FIは、現在入手可能な最も正確で効率的なウェーハステッパーの1つです。XT:1700FIは、インラインカメラを使用してウェーハとマスクを高精度にアライメントする高度な高解像度イメージングシステムを備えています。また、特許取得済みのフォトマスク混合技術を使用して、ステッチされたレチクルによって引き起こされるエッジのステップとリピートの歪みを低減します。これにより、ステッパーは、ウェーハ上の個々のチップのアライメントで一貫してサブミクロンの精度を達成することができます。ASML XT 1700 FIのステージユニットは、エアベアリングとガラス繊維の摩擦力を組み合わせて、優れた安定性を備えた超精密ウエハモーション制御を実現します。ステッパーはまた、最大解像度と再現性のためにオープンループとクローズドループの両方のモーター制御を採用しています。さらに、XT 1700 FIには、最適なリソグラフィ性能を確保するための統合空冷機が含まれています。これにより、ステッパーは目標とする歩留まりを維持しながら高いスループットを達成できます。ASCML XT 1700FIにはユーザーフレンドリーなソフトウェアが搭載されており、設定やデータへのアクセスを簡単に調整できます。これには、大量生産や少量のプロトタイピングなど、さまざまなアプリケーションのステッパーをチューニングするオプションが含まれます。全体的に、高度なイメージングツール、正確なモーションコントロール、統合空冷資産を備えたASML XT:1700FIは、最高レベルのリソグラフィ精度と歩留まりを達成するための理想的な選択肢です。ユーザーに卓越した性能を提供し、半導体ウェーハの製造に最適なソリューションです。
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