中古 ASML XT 1700FI #9260261 を販売中

ASML XT 1700FIは半導体機械ベンダーASMLによって設計され、製造される高速ウェーハステッパーです。1時間あたり最大1,700個のシリコンウェーハ基板の移動および位置決めが可能で、半導体の生産を迅速かつ効率的に拡大したい企業にとって理想的なソリューションです。ASML XT1700FIは、大規模集積回路（LSI）および非常に大規模集積回路（VLSI）製造プロセスに信頼性の高い高歩留まり性能を提供するように設計されています。ステッパーには、ギアードリニアモータ、ダイナミックダイレクトドライブモータ、精密位置決めアクチュエータを組み合わせた高分解能ステージが装備されており、1時間あたり最大1,700ウェハの正確な位置決めと動作が可能です。XT:1700FIは、リニアモータとダイレクトドライブモータの減速比を向上させ、駆動トルク転送速度を大幅に向上させてスループットを最大化し、コストを削減しました。また、高度なプロセス制御のために、機器のソフトウェア内でさまざまな自動プロセス制御を備えているため、ウェーハ処理サイクル全体での位置決めと駆動における小さなばらつきを検出して補償することができます。XT1700FIは、ASML独自の高度なウェーハ検査システムを搭載しています。これは、光学、機械、および制御エレクトロニクス要素の配列を組み合わせて、ステッパーの正確なモーションコントロールの動作偏差を検出および修正します。さらに、包括的な検査ツールにより、プロセス全体を通じて包括的なウエハ検査が可能です。XT 1700 FIはまた、コンタミネーションとドリフトを最小限に抑えるように設計された内蔵の温度、湿度、および気流制御機能を備えた、一貫した出力を保証する革新的な環境制御マシンを備えています。さらに、追加の保護を提供するために、高度なビームスキャナーガードツールで構成することができます。XT 1700FIウェーハステッパーは、高い需要や正確なウェーハ位置決めが必要な企業に最適な、高速で信頼性の高いウェーハ位置決め資産です。ASML XT 1700 FIは、専用のウェーハ検査モデルと環境制御機能を備えており、半導体製造オペレーションを迅速かつ正確にスケーリングする企業に最適です。