中古 ASML XT 1700FI #9228927 を販売中

ASML XT 1700FIは、高度な集積回路（IC）チップ製造用に開発された高性能、高精度のリソグラフィ工具です。露出源、光学カラム、ウエハハンドリングシステムを組み込んだテンプレートベースのステップアンドリピート露光装置です。1700FIモデルでは、露出ヘッドに超高速のキセノンランプが搭載されており、従来の光源よりも最大2オーダーの露出時間が速くなります。また、パルス拡散投影ユニットとして構成されたコンデンサーレンズやリレーレンズなどのインカラム光学素子の存在により、さらなる露出が改善されます。プロジェクションオプティクスは、ウェーハ上に非常に均一な照明パターンを生成し、再現性と非常に正確なライン/スペース露出をもたらします。1700FIのウェーハハンドリングマシンは、露光プロセス全体でウェーハを真空チャックに保持するように設計されています。これにより、ウェーハをしっかりと握ることができ、ツールの性能を保証し、振動によるウェーハへの損傷を防ぎます。ウェーハハンドリングアセットは、レーザーアライメントのニーズに合わせてウェーハステージを移動またはインデックス化するサポートも提供します。ASML XT1700FIには、現場での露出とオフライン露出の両方の機能が搭載されており、自動化、柔軟性、プログラマビリティを可能にします。オフラインプログラミングと露出は、直感的なインターロックインターフェイスソフトウェアによって達成されます。これは、強力なオーバーレイキャリブレーション、ドーズランピング、フラックス最適化機能を提供します。最後に、この1700FIは、現場での欠陥の修復とアライメント検証手順を使用して、信頼性の高い、非常に最初の歩留まり性能で設計されています。これにより、コストに敏感で大量のIC製造に最適なデバイスとなります。