中古 ASML XT 1700FI #293752357 を販売中

製造業者
ASML
モデル
XT 1700FI
ID: 293752357
ヴィンテージ: 2007
Scanner Wafer stage Wafer handler (6) Covers AOM Laser Donaldson filter Cables ELEC ACC MDC RSRC WSRC WISC WICC LCWC MCWC 2007 vintage.
ASML XT 1700FIウェーハステッパーは、半導体デバイスの製造に使用されるハイエンドのリソグラフィー工具です。CPU、マイクロコントローラ、メモリチップから光トランシーバ、デジタルディスプレイ、写真検出器まで幅広い製品の製造に使用されています。ASML XT1700FIは液浸ステッパーであり、レンズとウェーハの間の液体層で動作するように設計されており、より高解像度のイメージングが可能です。F2照明キャリブレーションを備えた最先端の投影装置を備えており、優れたイメージングの忠実度とスループットを提供します。0。6マイクロメートルまでの解像度を投影することができます。XT:1700FIは柔軟なプログラミングで高速パターニングが可能で、ラピッドプロトタイピングと高速ウェハテストが可能です。自動化されたウエハハンドリングシステムを備えており、非常に高速な積み降ろし作業を容易にします。このユニットはインタラクティブで、処理パラメータをリアルタイムで監視できます。ステッパーには、作り付けの光分光計と無線周波数ポインティングマシンがあります。光分光計はウェーハ表面プロファイルを監視し、汚染物質を検出しますが、RFポインティングツールはアライメントとオーバーレイエラーを識別します。これは、照明の変化、歪み、またはずれによるウェーハの欠陥を防ぐのに役立ちます。ASML XT:1700FIにはパターン認識アセットがあり、ウェーハ上の特徴を識別し、パターンを正確かつ一貫して配置することができます。これにより、高い歩留まりと製品品質が保証されます。このモデルはまた、レチクル検査とデータ管理が可能であり、イメージングステップの信頼性の高い制御を提供します。全体として、XT 1700FIは、高品質の半導体デバイスを製造するための優れたイメージング解像度とスループットを提供する、高度で信頼性の高いリソグラフィーツールです。自動化されたハンドリング装置、パターン認識システム、各種検査機能により、精密部品の製造に最適です。
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