中古 ASML XT 1700FI #293633102 を販売中

ASML XT 1700FIは、半導体業界で使用されるハイエンド紫外線（UV）光学系ウェハステッパーです。二重露光を利用して効果的な空中画像を生成する減光減光ステッパーです。ステッパーは、露出時間が4。2と短い0。248/0。335/0。5nmの多露光段を使用します。4nm以下のラインエッジの粗さと、サブミクロン範囲のナノメートルレベルの精度と解像されたステップサイズのステージモーションを提供できます。ASML XT1700FIは、最先端の光強度制御を提供する高度なデュアルソース照明を備えたイメージング機器の最新技術を採用しています。デュアル照明ソースにより、シングルパスの二重露光接触リソグラフィから二重多露光の直交ペアまで、幅広いプロセスウィンドウで幅広いデザインをカバーできます。プロセス最適化と堅牢な設計実行のための柔軟なシステムを提供します。ウェーハステッパーは、4µmの高い光学分解能、5タップエンコーダ、28nmのRMS精度を備えています。最大5GBのショットカウントとユニットログストレージをサポートします。最先端のアライメント精度と、高度なオーバーレイ機能を実現する調整可能なツールセンターポイントを備えています。高度なプログラマブル機能により、迅速な位置保護、ホットスポット損傷の防止、欠陥の低減も可能です。XT:1700FIの高度なカメラマシンは、最大512x512ピクセルセンサー解像度を提供し、0.3µm-3µmのダイナミックな焦点を当てています。その洗練された画像処理機能により、リアルタイムのフォーカス、投与量の最適化、および画像の矛盾を可能にします。ステッパーによってサポートされる4倍の露出能力は、最高解像度のフォトマスクにシャープネスを追加します。ASML XT 1700 FIは、内蔵の通信インタフェースと拡張されたリモート診断機能により、プロセス監視、ウェーハ検査、データロギングも可能です。これにより、オペレータは生産プロセスをリモートで診断、監視、制御できます。ステッパーには、より高いスループットとプロセス制御を確保するための「Ready-for-Link」リモートオペレーションツールも装備されています。ASML XT:1700FIはモジュール設計と組み立てられ、ステッパーを非常に信頼性が高く、メンテナンスフリーで費用対効果が高く、アップグレードと拡張が可能です。また、低騒音・低振動装置であり、幅広い自動・ロボットハンドリング機器に対応しています。強力な機械であり、幅広い半導体アプリケーションで高性能を提供することができます。