中古 ASML XT 1700FI #293606031 を販売中

ASML XT 1700FIは、フォトリソグラフィーアプリケーションで使用されるウェーハステッパーです。可変形状イメージング装置と金型位置フィジカル認識システムを備えた非常に精密で高精度な機械です。このユニットは、スキャン中の露出フィールドの分散を最小限に抑えます。ASML XT1700FIは、プロセスの安定性を可能にし、粒子の発生を最小限に抑え、小さな重要な特徴を解決する、一定の反復可能な深さのフィールドを生成するように設計されています。XT:1700FIは高出力・高精度光学機械で構築されており、高密度・微細な線幅リソグラフィが可能です。このツールは、2リング光学アセットとビームシェーピングモデルの2つのコンポーネントで構成されています。2リング光学装置は、一定のトラック曲率を使用して波面の歪みを低減する光学対称システムです。ビームシェーピングユニットは、パラメトリック非球面および軸間隔の技術により、不要で望ましくない軸外点を減らすことにより、露出フィールドの形状を制御する責任があります。XT1700FIには自動化されたZeemann Alignmentマシンもあり、レチクルの歪みとミスアライメントを低減します。このツールは、パターン転送中にナノメートル分解能で画像の変形を修正するように設計されています。ASML XT:1700FIには、調整可能なアクシコン、調整可能なリターダ、および調整可能な焦点内光学モデルからなるフィールド平坦化アセットが装備されており、フィールド曲率と歪みを排除して高精度で高精度な露出を生成するのに役立ちます。XT 1700FIには、システムの性能と精度を確保するための堅牢な制御装置が装備されています。この制御ユニットは、ユーザーフレンドリーで直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと高度なデータ分析アルゴリズムで設計されており、リアルタイムの結果を提供します。XT 1700 FIの性能は、振動遮断機、裏面シャッターマスク、ウェーハアライナーなどのオプション機能を追加することでさらに向上させることができ、露光サイクル中の振動を最小限に抑え、ウェーハの詳細登録精度を向上させることができます。最後に、ASML XT 1700 FIは非常に信頼性が高く、一定の高性能で動作するように設計されています。このマシンは、ツールのパフォーマンスを監視および制御し、ダウンタイムを短縮する広範な安全システムとパフォーマンス診断で設計されています。