中古 ASML XT 1700 #293817719 を販売中

ASML XT 1700ウェーハステッパーは、最新の光学イメージング技術、多軸傾斜ステージ、およびデバイス製造における最大許容度と精度のための高度なコントローラシステムを組み合わせた、ハイエンドウェーハレベルのデバイス製造用に開発された高度なリソグラフィ装置です。Sytemは、高度なフォトマスクおよびレチクル加工のための強力なイメージングプラットフォームを提供し、最大550 x 600 mmの最大効果的な露出領域を可能にする800nm露出システムを備えています。フォトマスクとレチクルは、マイクロメートルの精度でステージ上に配置され、その後、ウェーハスピナー上に完全なパターンを形成するためにユニットを介して移動されます。精密かつ正確なイメージングのために、ASML XT:1700はパターン登録とダイナミックフォーカスの両方のための高解像度CCDカメラのトリオを採用しています。カメラは、カスタマイズされた二軸傾斜のイメージングステーションの周りを移動して、イメージングジオメトリを最適化します。これは、異常を排除し、背景干渉をゼロにし、最小のジオメトリでも粒子レベルの精度を確保するのに役立ちます。ASML Hybrid Tilt Stage Technologyを使用することで、高精度なウェーハ翻訳が可能になります。最大15,000 um/sのステージ速度に加えて、高度なリアルタイム位置安定性サーボコントロールにより、最も負担の大きいリソグラフィーソリューションでも正確なプロファイルトラッキングが可能です。ツールの中心にあるコントローラマシンは、プログラム可能な露出とプロセス制御のためのすべての統合コンポーネントを統合制御します。アセットのユーザーインターフェイスは、すべての関連パラメータの直感的な表形式のリストを使用しており、素早く簡単にパラメーターを変更できます。さまざまなフィールドプログラマブルゲートアレイ（FPGA）のサポートにより、すべてのプロセス間の低レイテンシ通信が保証され、最適な高収率の生産が可能です。全体として、XT 1700ウェーハステッパーは、最も要求の厳しいデバイス生産タスクのための高度なリソグラフィーモデルです。業界をリードするイメージング技術と精密制御の組み合わせにより、最高の歩留まりで信頼性と再現性に優れたマイクロスケール機能を生産できます。