中古 ASML XT 1400F #9351329 を販売中

ASML XT 1400Fは、半導体加工に使用される高精度ウェハステッパーです。集積回路（IC）チップを製造するために、微細なパターンを作成するために基板ウェハに光を投影するマスクプロジェクターです。これにより、トランジスタやロジックゲートなどのチップの複数のコアコンポーネントを1つのリソグラフィーステップで作成できます。XT 1400Fは、投影プロセスにおいて卓越した精度と精度を提供する多数の機能を備えています。深紫外線（DUV）-405nmの光の波長を使用して、サブミクロンパターンを基板に作成します。最大解像度は約1。4ミクロンである。投影光学は収差を低減し、高精度なパターンを生成するように設計されていますが、空間光変調（SLM）ユニットは基板をパターン化するために使用される光を正確に形作り、制御することができます。さらに、ASML XT 1400Fには、多くの高度なモーションコントロール機能が装備されています。これには、迅速かつ正確な位置決めを可能にするデュアルステージ顕微鏡ステージが含まれます。また、精密かつ反復可能な動きを提供することができる複数のモーターが装備されています。真空グリッパーシステムを使用して、基板をプロセス全体にわたって確実に保持することもできます。さらに、XT 1400Fには信頼性の高い高度な制御アルゴリズムがあり、毎回リソグラフィ処理が一貫していることを確認できます。また、複数の露出を実行することもでき、それぞれの露出には最適な結果を得るための調整可能なパラメータがあります。さらに、インテリジェント欠陥検出システムと統合されており、欠陥による非機能チップの生産数を最小限に抑えることができます。ASML XT 1400Fウェーハステッパーは、高品質の集積回路チップを製造するために不可欠なツールであり、幅広い基板に対して最大解像度1。4ミクロンの高精度サブミクロンパターンを生成することができます。その優れた機能と高度な制御アルゴリズムにより、XT 1400Fは一貫して機能的なチップの高い歩留まりを保証し、今日の半導体製造において重要なツールとなっています。