中古 ASML XT 1400E #9383074 を販売中

ASML XT 1400Eは、ASMLから生産的で信頼性の高いウェーハステッパーです。生産性と性能を考慮して設計されたモジュラーリソグラフィープラットフォームです。3Dパッケージングや高度なノードリソグラフィ用のデバイススケーリングなど、困難な大量生産アプリケーションに特に適しています。XT 1400Eウェーハステッパーは、高度な高出力マルチフィールドeXtended Source （X-Source）をベースにしており、平行で多波長の照明を生成し、焦点深度を高め、パターン配置精度を向上させます。さらに、最先端の4レベルのプリアライメント装置を備えており、複数の露出にわたって再現性と優れた精度を保証します。ASML XT 1400EにはASML hyper-NA光学も搭載されており、193nm波長の限界までの高解像度イメージングが可能で、線幅も小さくなります。これにより、高度なノード技術の高い歩留まりとリソグラフィ品質が保証されます。さらに、このプラットフォームには、コヒーレンス帯域幅を向上させるZoom Lensグループ化が装備されています。XT 1400Eはまた優秀な臨時雇用者の安定性およびCDの均等性制御機能を提供します。これは統合された熱制御システムによって達成されます。これにより、機械温度が変化しても、装置のイメージングパラメータをしっかりと監視し、一貫して高いリソグラフィ性能を保証します。ASML XT 1400Eの他の機能には、すべての必須リソグラフィ制御機能を単一のプラットフォームに統合する組み込みのAdvanced Pattern Development （APD）ソフトウェアがあります。これにより、パターンデータの準備が容易になり、通常、高度なノードの生産に関連する多くの時間のかかるプロセスが排除されます。XT 1400Eは、要求の厳しいリソグラフィ用途において、一流の性能を保証できる高度なウェーハステッパーです。高速スループット、優れたイメージング品質、堅牢な露出制御、大規模な深度焦点機能、包括的なソフトウェアサポートを組み合わせたこのプラットフォームは、リソグラフィの境界を押し広げたいお客様に理想的な選択肢です。