中古 ASML XT 1400E #9381463 を販売中

ASML XT 1400Eは、高速で大量のウェーハ生産に特化した高性能ウェーハステッパーです。本装置は生産マスクレベル0。7で、焦点精度は+/-0。8ミクロンで、最も精度の高いウェーハ製造が可能です。このシステムは、オプションのデュアルフィールドスキャナを使用して、生産スループットを最大化するように設計されており、ユーザーは一度に露出できる別のフィールドの数を増やすことができます。単位は2つの主要な光学要素のまわりに基づいています；源から放出されるビームのためのビーム配達機械および露出のためのエキシマレーザー。このビームデリバリーツールは、f-Theta望遠鏡アセットを使用しており、収差を最小限に抑えて最高レベルの精度を保証します。これにより、ウェーハの歪みを最小限に抑え、レチクルの動きを最小限に抑えて高スループットを実現します。露出サブシステムには1200Wエキシマレーザーが搭載されており、ウェーハイメージングを高速化するための業界トップクラスの電力レベルを提供します。このモデルは、ユーザーフレンドリーなオペレータインターフェースを備えたコンピュータを介して動作します。レーザーはプログラム可能ですが、メーカーがカスタム露出を必要とする場合は手動で調整することもできます。XT 1400Eは最高の生産の歩留まりのために設計されています。装置はレーザー力をリアルタイムで監視し、調節できます、自動的に最も有効なウェーハの生産のための露出時間を調節します。また、ウエハハンドリング用のロードロックを内蔵しており、汚染の可能性を最小限に抑えています。このシステムには、生産中に最高の精度を確保するための自動コラム処理ユニットも含まれています。標準の生産機能に加えて、ASML XT 1400Eにはダウンタイムを削減するための追加機能が含まれています。このマシンには、オペレータがパフォーマンスを監視し、潜在的な問題をすばやく検出できるオートメーションレポートツールが含まれています。さらに、統合された診断資産により、技術者はメンテナンスとチェックアップ作業を迅速に提供できます。XT 1400Eは非常に精密で強力なウェーハステッパーであり、ダウンタイムと最大出力を最小限に抑えて業界をリードするパフォーマンスを提供できます。生産マスクレベルは0。7、焦点精度は0。8ミクロンで、大量生産ラインに最適です。