中古 ASML XT 1400E #9289674 を販売中
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ID: 9289674
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Lithography system, 12"
In-line
SMIF
Automation online component: SECE
Reticle size, 6"
Wafer type: Notch
Inline flow: Right
CYMER XLA-165 Laser
LED
WL and RL:
WL: Type 3
RL Library: Left
PPD Type: PPD2
Lens and Illumination:
BMU Type: Standard
Appeture INA:
Conv: 0.95
Annual: σAnn.(0.950/0.633)
Lens: PL Purge
Stage:
SCAN Speed: 500 mm/sec
Chuck: Pin chuck
Pin chuck: TIS Align.
2005 vintage.
ASML XT 1400Eは、半導体製造業で製造工程で半導体ウェーハにパターンを転送するために使用されるリソグラフィ機械の一種であるウェーハステッパーです。高いスループットと精度を実現するとともに、長寿命を実現する先進的な装置です。XT 1400Eは、極端な紫外線(EUV)リソグラフィを使用して、ウェーハ表面にフォトレジスト層をパターン化します。このプロセスでは、高速パルスレーザービームを使用して、ウェーハ上に光と影のパターンを作成し、回路経路を作成します。また、圧電式アクチュエーションシステムを使用して、光のパターンに対して迅速かつ正確にウェーハを移動させます。ASML XT 1400Eは、革新的なオープンアーキテクチャ設計を備えており、ユーザーは特定のニーズに合わせてリソグラフィーユニットを素早くカスタマイズできます。例えば、複数のステッピングヘッドをサポートするように設定でき、複数のリソグラフィのニーズに対応できます。また、プロセス制御、機械診断、レシピのカスタマイズのための組み込み機能も含まれています。XT 1400Eは、過酷な条件下でも高いスループットと再現可能な精度を提供する実績を持つ、信頼性の高い製品です。堅牢な技術力を持ち、半導体リソグラフィ業界におけるスループット、工具精度、精密制御の厳しい要件を満たしています。アセットはフロアスタンドに設置するか、クラスタモデルに組み込むことができます。ASML XT 1400Eには、一連の診断、予測メンテナンス、条件監視ツールが装備されており、マシンをリアルタイムで監視できます。これにより、ユーザーは問題を迅速かつ正確にトラブルシューティングし、潜在的なリスクを特定して生産に影響を与える前に修正することができます。この機器は、オートローダ、自動メンテナンスルーチン、直感的なユーザーインターフェイスなどの機能を備え、使いやすく、メンテナンスが簡単に行えるように設計されています。XT 1400Eは、半導体製造プロセスを最適化し、製品の品質を向上させるのに役立つ強力で信頼性の高いツールです。
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